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  • 真空度很好的情況下,分子泵油為何會返到前級管道?原因:油池破裂或密封不良。解決方法:檢查油池。
  • 分子泵噪音大如何界定?是否有合格標準,是多少?答:小于72db合格,噪音的大小不太好界定,需要專用儀器和特定的測試環境。
  • 分子泵是否對冷卻有明確要求?如風冷需要外界溫度是多少?如水冷則對水有何具體要求?如未達到要求會出現何后果?答:注意水溫和水流量,冷卻不良會導致無故停機、碎泵、油變黑等。
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