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  • 分子泵在運轉過程中,出現頻率從正常下降至一定頻率后又恢復到正常,之后又下降至一定頻率,再恢復到正常,反反復復,更換電源后現象仍如此,請問該現象如何解釋?原因:負載太大,系統真空度不夠。解決方法:檢查系統。
  • 分子泵為何會發生半邊熱,半邊冷的現象?原因:附近有光照或其他熱源。解決方法:避免光照或熱源。
  • 有防護網保護,為什么還會有大塊碎玻璃掉入泵內?原因:防護網破裂,前級管道破裂。解決方法:優化系統設計
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