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  • 封式旋片泵(即油泵)極限真空能到達10-3mbar,但油泵容易產生返油倒吸的問題,如果沒有控制返流的安全閥,或者不合理的放氣程序都會引起油蒸汽的返流,不合要求的安全閥也會引起油污染,從而導致分子泵提供的真空環境里會存在一定含量的碳氫化合物,影響使用;并且油泵操作溫度較高,如果散熱效果較差,會直接影響客戶的測試結果;另外還需要定時換油,總體來說維護成本高,能耗大。
  • 分子泵無法直接將氣體壓縮到常壓,即無法直接對大氣排氣。基于分子泵的工作原理,在開啟分子泵前必須配置一臺輔助前級泵。
  • 變頻器電源,轉速上升過程中就自動關機,即顯示“Po“。答:原因電壓低。
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