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問一下:愛德華分子泵維修維修有哪些是需要注意的?
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  • 當愛德華分子泵維修未啟動時,檢查前級泵和電磁閥是否正常工作。當分子泵發生故障時,必須根據故障提示進行處理。
  • 打開愛德華分子泵維修之前,必須先打開冷卻水閥。 分子泵的葉輪停止后,必須關閉冷卻水閥。
  • 當愛德華分子泵維修M2(方框2)或M7的真空度始終沒有到位時,請檢查旋片泵的電磁閥是否正常工作。
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