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維修愛德華分子泵控制器時需要注意什么?有人知道嗎?
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  • 當愛德華分子泵控制器未啟動時,檢查前級泵和電磁閥是否正常工作。當分子泵發生故障時,必須根據故障提示進行處理。
  • 愛德華分子泵控制器的氣體回路接口的快速連接法蘭的螺釘應朝上,以防止松弛引起的空氣泄漏
  • 當出現警告信息“ EF”時,檢查冷卻水通道是否暢通,并用機q進行檢查。 在再次打開愛德華分子泵控制器之前,請確保水路暢通。 當出現其他報警信號時,嚴禁再次啟動分子泵進行后處理。
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