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請問:愛德華分子泵維修維修有哪些是需要注意的? 感謝回答
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  • 當愛德華分子泵維修M2(方框2)或M7的真空度始終沒有到位時,請檢查旋片泵的電磁閥是否正常工作。
  • 當愛德華分子泵維修未啟動時,檢查前級泵和電磁閥是否正常工作。當分子泵發生故障時,必須根據故障提示進行處理。
  • 愛德華分子泵維修不能在大氣中打開,必須在達到10Pa時打開。 打開相應的高壓閥以啟動分子泵
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