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請問:Edwards真空分子泵維修注意事項有哪些?
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  • Edwards真空分子泵油溫低于12℃(54℉)。對策:把泵和泵油加熱到需要的溫度值以上或使用適用于此臺真空泵牌號的真空泵油。
  • Edwards真空分子泵排氣過濾器/排氣管路堵塞。對策:更換排氣過濾器并檢查看是否需要清洗排氣管路,一般每月檢查排氣過濾器,每年要更換一次。
  • Edwards真空分子泵維修故障燈亮。檢查電路板設置開關是否在R位置,此時應在N位置。檢查風扇是否停止。如果風扇正常,可能是分子泵電源故障。請聯系制造商。
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