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Edwards進口分子泵維修要注意什么內容?在線等
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  • Edwards進口分子泵每次停機后,必須清洗每個分子泵的入口,以保持其清潔,以避免不必要的損壞。
  • 當Edwards進口分子泵M2(方框2)或M7的真空度始終沒有到位時,請檢查旋片泵的電磁閥是否正常工作。
  • 當Edwards進口分子泵出現故障無法使用時,應暫停生產,并在手動充滿空氣后更換備用分子泵。
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