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維修Edwards二手分子泵要注意哪些細節? 感謝回答
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  • 當Edwards二手分子泵出現故障無法使用時,應暫停生產,并在手動充滿空氣后更換備用分子泵。
  • Edwards二手分子泵的氣體回路接口的快速連接法蘭的螺釘應朝上,以防止松弛引起的空氣泄漏
  • Edwards二手分子泵不能在大氣中打開,必須在達到10Pa時打開。 打開相應的高壓閥以啟動分子泵
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