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敢問大家,Edwards真空分子泵的維修注意事項是?
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  • Edwards真空分子泵故障燈亮。檢查電路板設置開關是否在R位置,此時應在N位置。檢查風扇是否停止。如果風扇正常,可能是分子泵電源故障。請聯系制造商。
  • 當Edwards真空分子泵M2(方框2)或M7的真空度始終沒有到位時,請檢查旋片泵的電磁閥是否正常工作。
  • Edwards真空分子泵每次停機后,必須清洗每個分子泵的入口,以保持其清潔,以避免不必要的損壞。
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