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幫個忙,維修Edwards進口分子泵時需要注意什么?
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  • Edwards進口分子泵的氣體回路接口的快速連接法蘭的螺釘應朝上,以防止松弛引起的空氣泄漏
  • 當Edwards進口分子泵出現故障無法使用時,應暫停生產,并在手動充滿空氣后更換備用分子泵。
  • 當Edwards進口分子泵未啟動時,檢查前級泵和電磁閥是否正常工作。當分子泵發生故障時,必須根據故障提示進行處理。
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