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分子泵具體可以分成哪些類別?
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  • 復合分子泵 它是由渦輪式和牽引式兩種分子泵串聯組合起來的一種復合型的分子真空泵。
  • 渦輪分子泵 靠高速旋轉的動葉片和靜止的定葉片相互配合來實現抽氣的。這種泵通常在分子流狀態下工作。
  • 牽引分子泵 氣體分子與高速運動的轉子相碰撞而獲得動量,被驅送到泵的出口。
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