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維修Edwards進口分子泵時需要注意什么? 知道的請回答
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  • Edwards進口分子泵故障燈亮。檢查電路板設置開關是否在R位置,此時應在N位置。檢查風扇是否停止。如果風扇正常,可能是分子泵電源故障。請聯系制造商。
  • 當Edwards進口分子泵M2(方框2)或M7的真空度始終沒有到位時,請檢查旋片泵的電磁閥是否正常工作。
  • 當Edwards進口分子泵未啟動時,檢查前級泵和電磁閥是否正常工作。當分子泵發生故障時,必須根據故障提示進行處理。
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