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愛德華分子泵維修維修有什么注意事項? 想知道
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  • 愛德華分子泵維修故障燈亮。檢查電路板設置開關是否在R位置,此時應在N位置。檢查風扇是否停止。如果風扇正常,可能是分子泵電源故障。請聯系制造商。
  • 愛德華分子泵維修的氣體回路接口的快速連接法蘭的螺釘應朝上,以防止松弛引起的空氣泄漏
  • 當愛德華分子泵維修M2(方框2)或M7的真空度始終沒有到位時,請檢查旋片泵的電磁閥是否正常工作。
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