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  • 真空度很好的情況下,分子泵油為何會返到前級管道? 原因:油池破裂或密封不良。 解決方法:檢查油池。
  • 抽速是分子泵的核心參數,提高轉速是加大抽速為直接的方法之一,隨著動平衡技術的發展,分子泵轉子可順利地在超高轉速下穩定運轉。隨著材料科學的發展,分子泵轉子材料也發生了變化,可用硬鋁合金、碳纖維、鈦合金等高硬度材料制成,這使轉子的轉速得到進一步提高。
  • 正常使用下,為什么分子泵油池會出現裂紋或者變形? 原因:過熱,負載大。 解決措施:檢查冷卻系,檢查系統。
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