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大神賜教!維修Edwards進口分子泵要注意什么? 感謝回答
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  • 打開Edwards進口分子泵之前,必須先打開冷卻水閥。 分子泵的葉輪停止后,必須關閉冷卻水閥。
  • Edwards進口分子泵不能在大氣中打開,必須在達到10Pa時打開。 打開相應的高壓閥以啟動分子泵
  • 檢查真空表是不是出現了問題,Edwards進口分子泵出口是否打開,機械泵油是否太臟,機械泵是否旋轉,系統是否漏氣。分子泵的葉片或轉子也可能損壞。您可以使用自己的工具移動刀片來判斷它是否可以旋轉。分子泵加速指示燈不亮。電路板上的保險絲被燒毀了。更換保險絲或檢查是否有短路。
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