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誰能回答!Edwards二手分子泵維修有哪些是需要注意的?
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  • 當Edwards二手分子泵未啟動時,檢查前級泵和電磁閥是否正常工作。當分子泵發生故障時,必須根據故障提示進行處理。
  • 當出現警告信息“ EF”時,檢查冷卻水通道是否暢通,并用機q進行檢查。 在再次打開Edwards二手分子泵之前,請確保水路暢通。 當出現其他報警信號時,嚴禁再次啟動分子泵進行后處理。
  • Edwards二手分子泵的氣體回路接口的快速連接法蘭的螺釘應朝上,以防止松弛引起的空氣泄漏
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