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Edwards進口分子泵發生故障怎么辦? 急!急!急!
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  • Edwards進口分子泵中經常掉出頂絲、鏍釘等物體,如M5的頂絲等,請問是否對分子泵的使用有影響?應如何解決? 原因:應是偶爾發生的事情,可能是平衡中遺漏的平衡釘,對分子泵沒有影響。 解決方式:應是偶爾發生的事情,可能是平衡中遺漏的平衡釘,對分子泵沒有影響。
  • 真空度很好的情況下,Edwards進口分子泵油為何會返到前級管道? 原因:油池裂開或密封不良 解決方法:檢查油池
  • 正常使用下,為什么Edwards進口分子泵油池會出現裂紋或者變形 原因:過熱,負載大 解決措施:檢查冷卻系,檢查系統
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