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  • 當愛德華分子泵控制器M2(方框2)或M7的真空度始終沒有到位時,請檢查旋片泵的電磁閥是否正常工作。
  • 愛德華分子泵控制器故障燈亮。檢查電路板設置開關是否在R位置,此時應在N位置。檢查風扇是否停止。如果風扇正常,可能是分子泵電源故障。請聯系制造商。
  • 當愛德華分子泵控制器出現故障無法使用時,應暫停生產,并在手動充滿空氣后更換備用分子泵。
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