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大神賜教!Edwards進口分子泵的維修方法有什么?
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  • 真空度很好的情況下,Edwards進口分子泵油為何會返到前級管道? 原因:油池裂開或密封不良 解決方法:檢查油池
  • Edwards進口分子泵為何會發生半邊熱,半邊冷的現象? 原因:附近有光照或其他熱源 解決方法:避免光照或熱源
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