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維修Edwards真空分子泵維修要注意什么? 幫忙解答一下
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  • 打開Edwards真空分子泵維修之前,必須先打開冷卻水閥。 分子泵的葉輪停止后,必須關閉冷卻水閥。
  • 當Edwards真空分子泵維修出現故障無法使用時,應暫停生產,并在手動充滿空氣后更換備用分子泵。
  • Edwards真空分子泵維修故障燈亮。檢查電路板設置開關是否在R位置,此時應在N位置。檢查風扇是否停止。如果風扇正常,可能是分子泵電源故障。請聯系制造商。
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