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維修Edwards真空分子泵要注意哪些細節? 感謝回答
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  • Edwards真空分子泵不能在大氣中打開,必須在達到10Pa時打開。 打開相應的高壓閥以啟動分子泵
  • 打開Edwards真空分子泵之前,必須先打開冷卻水閥。 分子泵的葉輪停止后,必須關閉冷卻水閥。
  • Edwards真空分子泵每次停機后,必須清洗每個分子泵的入口,以保持其清潔,以避免不必要的損壞。
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