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維修Edwards進口分子泵時需要注意什么?求解答
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  • Edwards進口分子泵每次停機后,必須清洗每個分子泵的入口,以保持其清潔,以避免不必要的損壞。
  • 當Edwards進口分子泵M2(方框2)或M7的真空度始終沒有到位時,請檢查旋片泵的電磁閥是否正常工作。
  • 當Edwards進口分子泵未啟動時,檢查前級泵和電磁閥是否正常工作。當分子泵發生故障時,必須根據故障提示進行處理。
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