渦輪分子泵作為一種高精度的真空獲得設備，在停止運行并需要進行維修時，需遵循一系列步驟以確保其性能恢復及長期穩定運行。 當發現渦輪分子泵的抽氣效率下降、噪音增大或出現異常振動等故障跡象時，應立即停機進行檢查與維修。首行的是斷電與排氣處理：關閉電源后排放內部氣體壓力至安全水平；隨后進入拆卸階段——由人員小心翼翼地拆解各部件以便檢查磨損情況或更換損壞件如軸承和葉片。此過程中需注意保持清潔環境以防塵埃污染內腔表面影響真空度提升能力 。 接著是對轉子及其他精密組件的清洗和潤滑工作 ，使用溶劑去除油污并確保滑動部位得到適當油脂涂覆以減少摩擦損耗 ；后裝配完成后還需進行功能測試 ：啟動電機觀察轉速是否穩定 、密封性能以及終能否達到預定的工作壓力值從而確保維修質量達標并能再次投入服務中去. 在整個流程里都要嚴格遵守操作規程和安全規范避免任何可能的二次損傷發生！