分子泵故障維修方法主要包括以下幾個方面： 1.氣體泄漏處理 當發現抽氣速度下降或真空度不穩定時，可能是因為法蘭連接處密封不良、密封圈磨損等原因導致的內部泄漏。此時應使用檢測儀器確定具體泄并進行重新密封或更換磨損的部件來解決問題；對于材料老化造成的小裂紋則可以采用的密封膠進行修補修復工 2.異響和振動檢修 在運行過程中如果聽到異常聲音或者感覺到強烈震動的話應該立即停機檢查是否由于轉子不平衡、軸承損壞以及異物進入等問題所引起的現象； 3.過熱問題解決方案 針對出現過熱問題可以從冷卻系統故障入手進行檢查與維修確保水流暢通冷卻液充足不缺失，同時還需要定期清理灰塵雜質減少摩擦阻力以達到降溫目的防止其他組件受損害情況再次出現的可能性增大了許多呢！