Alcatel分子泵保養拆解操作指南（精簡版）一、準備工作1. 確認設備已斷電，真空腔體完全泄壓至常壓2. 準備工具：六角扳手套組、無塵手套、防靜電腕帶3. 清潔環境：建議在百級潔凈工作臺操作二、標準拆解流程1. 拆解外殼：使用T15星型螺絲刀卸下防護罩固定螺絲2. 轉子分離：- 標記轉子與定子的相位對應位置- 用拉拔器平穩卸下轉子組件（軸向拉力＜50N）3. 軸承維護：- 檢查陶瓷軸承表面磨損（允許劃痕深度≤0.02mm）- 使用異超聲清洗（40kHz/30min）4. 潤滑系統處理：- 清理舊潤滑脂- 補充潤滑劑量0.5±0.05ml三、關鍵注意事項1. 禁止直接接觸轉子葉片（表面粗糙度要求Ra≤0.1μm）2. 安裝時需保證轉子動平衡偏差＜1g·mm3. 密封圈必須更換原廠配件（氟橡膠材質）四、裝配后檢測1. 低速試運行（2000rpm）檢測振動值（應＜0.5mm/s）2. 真空度測試：10^-5mbar基準下，抽速衰減應＜5%建議每3000工作小時或半年執行預防性保養，復雜拆解需聯系授權服務商。操作人員應持有真空設備維修資質認證。