Shimadzu分子泵作為高精度真空設備，其保養與拆解需嚴格遵循規范以確保性能穩定。以下為關鍵操作流程及注意事項： 一、拆解前準備1. 關閉電源并靜置2小時，待轉子完全停轉2. 使用泄壓閥釋放腔體真空至常壓3. 準備無塵操作臺及工具包（含陶瓷鑷子、防靜電手套）二、分階段拆解流程（1）外部組件拆卸- 拆除冷卻水管時使用接水盤收集殘余冷卻液- 渦輪組件采用對角線松卸法逐步釋放螺栓應力（2）部件處理- 轉子提取需保持垂直姿態，防止磁軸承碰撞- 陶瓷軸承需用氟碳溶劑超聲清洗（40kHz，30分鐘）三、關鍵保養項目1. 軸承系統維護- 檢查氮化硅滾珠磨損度（允許橢圓度0.8μm）- 更換潤滑脂時采用真空脂定量填充（0.15±0.02ml）2. 動平衡校準- 使用激光動平衡儀檢測，殘余不平衡量應＜0.5g·mm/kg- 配重調整精度需達0.01g級別四、重組裝注意事項- 真空密封面涂抹全氟聚醚密封脂- 分階段預抽真空至5×10?3Pa后啟動低速磨合（3000rpm/2h）建議每4000工作小時或累計啟停500次后執行保養。拆裝過程中需實時監測環境濕度（＜45%RH）及顆粒物濃度（CLASS 5潔凈度）。異常振動值超過4.5mm/s時應立即停機排查。維護可延長分子泵使用壽命至30000小時以上。