ULVAC真空泵維修保養拆解操作指南一、準備工作1. 安全防護：佩戴防油手套、護目鏡及防靜電手環，準備工具套裝2. 系統泄壓：切斷電源后，保持泵體自然冷卻至常溫（約需4-6小時）3. 油路處理：使用接油裝置回收舊真空油，避免污染環境二、拆解流程1. 主體分離：按順序拆卸進氣濾網（注意密封圈保存）、排氣閥組件2. 轉子拆卸：使用熱風對泵體均勻加熱至80℃后拆解轉子組（溫差法）3. 腔體分解：按十字交叉順序松開腔體螺栓，檢查腔壁劃痕深度（應＜0.02mm）4. 軸承檢測：使用千分表測量軸承游隙（標準值＜0.05mm），記錄磨損情況三、關鍵部件保養1. 油霧分離器：超聲波清洗（40kHz，60℃）后檢測壓差（應＜15kPa）2. 密封系統：更換全部O型圈（優先選用氟橡膠材質），密封脂涂抹量控制在0.3mm厚度3. 旋片處理：測量旋片長度磨損（允許公差±0.01mm），端面研磨至Ra0.4μm四、回裝注意事項1. 扭矩控制：腔體螺栓按對角順序分三次緊固（終扭距28N·m±10%）2. 動平衡測試：轉子組裝配后需做G2.5級動平衡校驗3. 真空測試：空載運行30分鐘后檢測極限真空度（應達5×10?3P別）五、維保周期建議連續運行環境下：每2000小時更換真空油及濾芯每5000小時進行軸承潤滑脂補充每年進鎮閥校準及泄漏率檢測重要提示：涉及磁懸浮軸承或分子泵組件時，必須使用原廠校準設備。回裝后需進行48小時磨合運行（階梯式升壓），并記錄振動值（應＜2.5mm/s）。建議保留拆解過程影像記錄以便追溯。