渦輪分子泵過載維修方法一、故障診斷1. 過載表現：泵體異常振動、電流異常升高、控制器報警停機。2. 常見原因： - 機械故障：軸承磨損、轉子不平衡、異物卡阻。 - 真空系統泄漏：前級真空不足導致負載過大。 - 電氣問題：電機繞組短路、控制器參數異常。 - 操作失誤：未按規程啟動（如未預抽真空直接高速運行）。二、維修步驟1. 斷電與泄壓： - 切斷電源，通過前級泵泄放真空至常壓，確保操作安全。2. 機械檢查： - 軸承檢測：拆解泵體檢查軸承磨損情況，更換變形或潤滑失效的軸承。 - 轉子清潔：用無塵布清潔轉子葉片，檢查動平衡（偏擺需校正）。 - 異物排查：用內窺鏡檢查泵腔，清除金屬碎屑或顆粒物。3. 密封性檢測： - 連接氦質譜檢漏儀，排查泵體法蘭、密封圈泄漏點，更換老化O型圈（建議使用氟橡膠材質）。4. 電氣系統測試： - 測量電機繞組阻值（三相平衡誤差應＜5%），檢測驅動器輸出波形。 - 校準控制器PID參數，恢復出廠設定后逐步調整轉速閾值。5. 分階段試運行： - 連接前級泵抽至10Pa以下，階梯式升速（每次增幅≤20%），監測電流波動（正常值＜額定電流90%）。三、預防措施1. 安裝入口過濾器（孔徑≤5μm），防止顆粒物進入泵腔。2. 每2000小時更換潤滑脂（如Krytox GPL系列）。3. 定期校準真空計與控制器，避免誤觸發過載保護。4. 停機時維持10P真空，避免大氣壓沖擊軸承。總結：系統維護需兼顧機械、電氣與操作規范，建議每年由團隊進行保養。復雜故障（如轉子動平衡失效）需返廠維修，避免二次損傷。