二氧化硅膜厚儀是一種專門用于測量二氧化硅片層或薄膜厚度的高精度儀器。關于它能檢測到的最小厚度變化，這實際上取決于多個因素，如設備型號、技術規格以及使用條件等。因此，無法給出一個具體且統一的數值來回答這個問題。

首先，不同型號的二氧化硅膜厚儀在設計和制造上可能有所差異，導致其測量范圍和精度各不相同。一些高端的膜厚儀可能具有更高的分辨率和更小的測量下限，能夠檢測到更微小的厚度變化。

其次，技術規格也是影響最小厚度變化檢測能力的重要因素。例如，儀器的光學系統、傳感器性能以及數據處理能力等都會直接影響其測量精度和范圍。

最后，使用條件也會對二氧化硅膜厚儀的測量結果產生影響。例如，測量環境的溫度、濕度以及樣品的表面狀態等因素都可能對測量結果產生干擾。

盡管無法給出具體的數值，但一般而言，二氧化硅膜厚儀能夠精確地檢測非常薄的氧化物涂層，包括納米級別的尺度在內。在實際應用中，根據具體的測量需求和條件，可以選擇適合的膜厚儀型號和技術規格，以實現對二氧化硅薄膜厚度的精確測量。

總之，二氧化硅膜厚儀能檢測到的最小厚度變化是一個相對復雜的問題，需要考慮多個因素的綜合影響。如需更具體的信息，建議查閱相關設備的說明書或咨詢專業技術人員。