四(si)甲(jia)基氫(qing)氧化(hua)銨（TMAH）是(shi)一(yi)種化(hua)學(xue)物質，具(ju)有較強的(de)(de)腐蝕性(xing)(xing)。其分(fen)子(zi)式是(shi)C4H13NO，即氫(qing)氧化(hua)銨的(de)(de)四(si)個(ge)(ge)氫(qing)離子(zi)被甲(jia)基取代后形(xing)成的(de)(de)化(hua)合物具(ju)有一(yi)個(ge)(ge)強堿性(xing)(xing)的(de)(de)OH根團和TMA+陽(yang)離子(zi)部分(fen)。以下是(shi)對(dui)該化(hua)合物的(de)(de)優缺(que)點的(de)(de)分(fen)析：

優點

*化學性(xing)質(zhi)穩定(ding)：優(you)秀的(de)熱穩定(ding)性(xing)使其(qi)具有高(gao)度(du)可(ke)靠性(xing)；在(zai)不超過分(fen)解溫度(du)時非常(chang)穩定(ding)且易于去除、不留殘渣污染產品。。*溶解性(xing)強(qiang)：作為極性(xing)溶劑中的(de)堿性(xing)試劑能夠有效地溶解大(da)多數有機物(wu),在(zai)許(xu)多情況下可(ke)以代替無機鹽或(huo)醇類使用。此外它還可(ke)以用作酸性(xing)催化劑的(de)優(you)良(liang)來源(yuan)以及極譜(pu)試劑等..

*應用(yong)(yong)(yong)(yong)廣(guang)泛多樣:在染料(liao)(liao)生產領域有(you)著廣(guang)泛應用(yong)(yong)(yong)(yong);也常(chang)用(yong)(yong)(yong)(yong)于(yu)醫藥(yao)及農藥(yao)制(zhi)造(zao)過程(cheng)之(zhi)(zhi)中;還可用(yong)(yong)(yong)(yong)作磺(huang)酸型交換樹脂(zhi)合成原料(liao)(liao)、電鍍工(gong)業陽(yang)極(ji)活化劑和除去過氧化物的添(tian)加劑；在分(fen)析方面(mian)用(yong)(yong)(yong)(yong)于(yu)提純金(jin)屬元素(su)以及在有(you)機硅片生產中常(chang)用(yong)(yong)(yong)(yong)到光(guang)亮清洗觸刻等(deng)方面(mian)上(shang)等(deng)等(deng)......同(tong)時它還是半導體工(gong)藝中常(chang)用(yong)(yong)(yong)(yong)的蝕刻板正膠顯影液之(zhi)(zhi)一，與CMOS工(gong)藝兼容并推動SOC發展趨勢的實現(xian)者呢(ni)！