渦輪(lun)分子泵（TMP）作為高(gao)真空(kong)系(xi)統的部件，其潔凈(jing)度直接影(ying)響抽速、極限真空(kong)度和使用壽命(ming)。定期的清潔保養至關重要，以下是(shi)關鍵(jian)步(bu)驟(zou)與(yu)注意事項：

一、必要性：

*性能保障(zhang)：油污、粉塵會增(zeng)大轉子摩擦阻力，降(jiang)低轉速和抽(chou)速，惡化極限真空。

*延長(chang)壽(shou)命：污染物加速軸承(cheng)磨損，腐蝕精密葉片，可能導致動平衡破壞引發振動。

*系統穩定：避免顆(ke)粒物脫落污染真空(kong)腔室，影響(xiang)鍍膜、刻蝕等工藝質(zhi)量。

二、清潔步驟：

1.安全準備：

*完全泄(xie)壓(ya)：確(que)保泵體恢復至常壓(ya)，關閉所(suo)有(you)電源并(bing)鎖定。

*拆(chai)卸：按手冊指(zhi)引小(xiao)心移除外殼(ke)、電機、冷卻水管等（非必(bi)要(yao)不拆(chai)轉(zhuan)子組）。

2.主體清潔：

*干冰噴射（）：使用干冰清洗(xi)機，高速噴冰顆(ke)粒，利(li)用低溫脆化與沖擊力剝離油污、粉塵，無殘留、不損傷(shang)精(jing)密(mi)葉(xie)(xie)片與流道。重點處理(li)轉子(zi)、定子(zi)葉(xie)(xie)片及泵腔(qiang)。

*溶(rong)劑(ji)擦拭(shi)（輔助）：對頑固油漬，用(yong)無絨布蘸取(qu)高純度(du)異或電子級清潔劑(ji)輕拭(shi)非轉子表面。嚴(yan)禁浸泡或直接(jie)沖(chong)洗轉子！禁用(yong)等(deng)強溶(rong)劑(ji)。

3.軸承與密封：

*檢查(cha)軸承是否有異響、過熱(re)痕跡(ji)。密封(feng)圈老化、變形(xing)需(xu)立(li)即更(geng)換原廠件。

4.精細檢查：

*強光下目視檢查所有葉片有無變形、裂紋(wen)、磕(ke)碰。輕微損傷需校正，嚴重則更換。

*檢查(cha)流道內壁光潔度，確保無(wu)劃傷或凹坑(keng)。

三、復裝與測試：

1.無(wu)塵(chen)環(huan)境：在(zai)潔凈工作(zuo)臺或低粉塵(chen)環(huan)境中組裝，戴無(wu)塵(chen)手套(tao)。

2.復位(wei)：嚴(yan)格按手冊要求安裝密封圈、對(dui)位(wei)螺絲，確保轉(zhuan)子組動平(ping)衡不受影響。

3.真(zhen)(zhen)空(kong)測試：連接系統后，進行分段抽(chou)真(zhen)(zhen)空(kong)測試，記(ji)錄達到基(ji)礎真(zhen)(zhen)空(kong)（如1E-3mbar）和極限(xian)真(zhen)(zhen)空(kong)的時間及數值(zhi)，與歷史數據對比驗證性(xing)能恢復。

四、關鍵注意事項：

*禁止自行拆解轉子組：轉子動(dong)平衡精度(du)極高(gao)，非設備拆裝必導(dao)致失(shi)衡振動(dong)。

*葉片防護：清(qing)潔工具（棉簽(qian)、布）嚴(yan)禁接觸葉片邊(bian)緣，任何微小(xiao)變形(xing)都將破壞性能。

*溶(rong)劑謹慎使用：過量溶(rong)劑殘留可能污(wu)染真空系(xi)統，務(wu)必揮發干燥。

*規范周期：根據(ju)使用環(huan)境（粉塵(chen)、油(you)汽濃度），一般(ban)每1-2年或累積運行8000小時后進行保養(yang)。