廣州潽拓光電科技有限公司——Alcatel真空泵真空泵養護 二手渦輪分子泵維護中心

在半導體(ti)(ti)晶圓的制(zhi)造中(zhong)(zhong)，光磁存儲(chu)生產中(zhong)(zhong)，太陽能面板制(zhi)造中(zhong)(zhong)，TFT，OLED及其他光學(xue)**鍍膜中(zhong)(zhong)，**分(fen)(fen)(fen)析儀器及航空(kong)航天研究中(zhong)(zhong)，都(dou)離不開(kai)高(gao)真(zhen)空(kong)，渦輪分(fen)(fen)(fen)子(zi)泵，復合分(fen)(fen)(fen)子(zi)泵，磁懸浮分(fen)(fen)(fen)子(zi)泵是(shi)目(mu)前獲(huo)得高(gao)真(zhen)空(kong)*好設備之一(yi)，其工作原理是(shi)利用高(gao)速旋轉的多層轉子(zi)把動量(liang)傳輸給氣體(ti)(ti)分(fen)(fen)(fen)子(zi)，使之獲(huo)得定向(xiang)速度，從而被(bei)壓縮、被(bei)一(yi)層一(yi)層定子(zi)隔離，*終驅(qu)向(xiang)排氣口(kou)后為前級抽走而獲(huo)得高(gao)真(zhen)空(kong)。二手渦輪分(fen)(fen)(fen)子(zi)泵維護中(zhong)(zhong)心

當(dang)真空(kong)泵(beng)停止(zhi)運行時(shi)，泵(beng)內的(de)(de)液(ye)(ye)體(ti)(ti)回落到液(ye)(ye)體(ti)(ti)源，泵(beng)體(ti)(ti)及吸液(ye)(ye)管(guan)內充滿(man)了空(kong)氣(qi)。當(dang)再次(ci)啟動時(shi)，葉(xie)(xie)輪(lun)抽(chou)吸空(kong)氣(qi)，雖(sui)能形成一定(ding)的(de)(de)負(fu)(fu)壓(ya)(ya)，但該(gai)負(fu)(fu)壓(ya)(ya)尚不能將空(kong)氣(qi)下(xia)面的(de)(de)液(ye)(ye)體(ti)(ti)連帶提升(sheng)上來(lai)，因為(wei)液(ye)(ye)體(ti)(ti)的(de)(de)重力(li)作(zuo)用，當(dang)負(fu)(fu)壓(ya)(ya)達到一定(ding)值時(shi)，空(kong)氣(qi)可從(cong)葉(xie)(xie)輪(lun)中(zhong)返回，所(suo)以空(kong)氣(qi)無法再從(cong)葉(xie)(xie)輪(lun)中(zhong)抽(chou)出。二手(shou)渦輪(lun)分子(zi)泵(beng)維護中(zhong)心

廣州潽拓(tuo)光電科技有限公(gong)司——Alcatel真空(kong)泵真空(kong)泵養(yang)護 二(er)手渦輪分子泵維(wei)護中心(xin)

廣州(zhou)潽拓光電科技有限公司——Alcatel真空泵真空泵養護 渦輪(lun)分子泵維修中心(xin)

抗震(zhen)動(dong)完成檢測(ce)對一(yi)批(pi)泵(beng)（處在運(yun)作(zuo)(zuo)和(he)(he)非運(yun)作(zuo)(zuo)標準下(xia)）開展一(yi)系(xi)列檢測(ce)，Alcatel真(zhen)(zhen)空泵(beng)真(zhen)(zhen)空泵(beng)養護(hu)，證實對外界(jie)源造成震(zhen)動(dong)的耐(nai)受(shou)力在105分(fen)鐘的震(zhen)動(dong)周(zhou)期(qi)時(shi)間(jian)中，全轉速比和(he)(he)不(bu)運(yun)作(zuo)(zuo)的每一(yi)個(ge)泵(beng)在垂(chui)、水(shui)準、倒立起來方位上遭受(shou)0.5–3g瞬時(shi)速度水(shui)準的震(zhen)動(dong)。該檢測(ce)確認了泵(beng)的可靠性及其(qi)耐(nai)振性，由于(yu)(yu)未觀查(cha)到轉子(zi)機械設備觸碰或泵(beng)運(yun)作(zuo)(zuo)情況(kuang)的更改，且(qie)泵(beng)不(bu)平(ping)衡依然遠小于(yu)(yu)閥值。渦輪分(fen)子(zi)泵(beng)維修(xiu)中心

進(jin)出口貿易法蘭盤、冷卻循(xun)環水安裝

①、泵通道(dao)：對正(zheng)、對稱性扭緊

②、泵出入口：避(bi)免 移(yi)位

③、冷卻循環(huan)水(shui)：無滲(shen)水(shui)；通(tong)道(dao)壓力0.2MPa；溫度20±５℃；水(shui)體回(hui)應無沉(chen)淀

分(fen)子(zi)(zi)(zi)泵(beng)是利用高速旋轉的(de)轉子(zi)(zi)(zi)把動量傳(chuan)輸給(gei)氣體分(fen)子(zi)(zi)(zi)，使之獲(huo)得定向(xiang)速度，從而(er)被(bei)壓縮、被(bei)驅向(xiang)排氣口后(hou)為前級(ji)抽走的(de)一種真(zhen)空泵(beng)。由于簡式牽引(yin)泵(beng)型線(xian)溝槽開(kai)在轉子(zi)(zi)(zi)圓(yuan)柱外表面(mian)或泵(beng)體內表面(mian)上，因此(ci)可以充分(fen)利用圓(yuan)柱外圓(yuan)較高的(de)線(xian)速度對氣體分(fen)子(zi)(zi)(zi)進(jin)行動量傳(chuan)遞，提高泵(beng)的(de)抽氣效(xiao)果。渦輪分(fen)子(zi)(zi)(zi)泵(beng)維(wei)修中(zhong)心

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廣(guang)州潽拓(tuo)光電科技有限公司(si)——Alcatel真空泵真空泵養(yang)(yang)護 分子泵養(yang)(yang)護

半導體(ti)器(qi)件的(de)(de)(de)生(sheng)產制造工(gong)藝極其復雜，需要在高純度硅片上執行一系(xi)列精密的(de)(de)(de)物理(li)或(huo)者化學(xue)操(cao)作，例如(ru)摻入相應的(de)(de)(de)其它(ta)元(yuan)素、形成多種金屬薄膜和絕緣膜、進行表面的(de)(de)(de)刻蝕(shi)處理(li)等(deng)。這些復雜的(de)(de)(de)生(sheng)產制造工(gong)藝都需要在分(fen)子泵維持(chi)的(de)(de)(de)高真(zhen)(zhen)空環(huan)境(jing)下進行，而(er)且對(dui)真(zhen)(zhen)空系(xi)統(tong)和真(zhen)(zhen)空設備的(de)(de)(de)潔凈度也有著很高的(de)(de)(de)要求(qiu)。分(fen)子泵養(yang)護 

羅茨真(zhen)空泵在石油、化工、塑(su)料(liao)、nong藥、汽輪機轉子(zi)動平衡、航(hang)空航(hang)天空間模(mo)擬等裝置上得到了長期運行的(de)考驗，所以(yi)應(ying)該在國(guo)內大力推廣和應(ying)用(yong)。同時也廣泛(fan)用(yong)于(yu)石油、化工、冶金、紡織等工業。真(zhen)空泵配件作為真(zhen)空泵消(xiao)*器(qi)，用(yong)于(yu)真(zhen)空泵的(de)噪(zao)聲治理。分子(zi)泵養護

轉(zhuan)(zhuan)子(zi)(zi)(zi)的(de)內(nei)部冷(leng)(leng)(leng)卻(que):為了使羅茨(ci)真空泵(beng)(beng)在(zai)更高壓差下(xia)工作，可采取更有(you)效的(de)冷(leng)(leng)(leng)卻(que)方法(fa)，即(ji)將(jiang)轉(zhuan)(zhuan)子(zi)(zi)(zi)用循環油(you)(you)冷(leng)(leng)(leng)卻(que)，在(zai)泵(beng)(beng)軸兩端分別有(you)油(you)(you)孔、油(you)(you)徑軸頭打入，經(jing)轉(zhuan)(zhuan)子(zi)(zi)(zi)內(nei)壁(bi)再從另一(yi)端排出。冷(leng)(leng)(leng)卻(que)油(you)(you)除冷(leng)(leng)(leng)卻(que)轉(zhuan)(zhuan)子(zi)(zi)(zi)外(wai)，還(huan)潤滑齒輪和軸承(cheng)。這種冷(leng)(leng)(leng)卻(que)效果較好，泵(beng)(beng)在(zai)運轉(zhuan)(zhuan)時(shi)轉(zhuan)(zhuan)子(zi)(zi)(zi)溫度低(di)于外(wai)殼(ke)溫度，大(da)泵(beng)(beng)常采用這種方式。 分子(zi)(zi)(zi)泵(beng)(beng)維修，例如(ru)在(zai)80Torr壓差下(xia)工作時(shi)，羅茨(ci)真空泵(beng)(beng)轉(zhuan)(zhuan)子(zi)(zi)(zi)溫度較外(wai)殼(ke)低(di)78度，同時(shi)還(huan)發(fa)現泵(beng)(beng)負荷越重時(shi)，則(ze)間(jian)隙(xi)越大(da)，這是因為轉(zhuan)(zhuan)子(zi)(zi)(zi)用油(you)(you)冷(leng)(leng)(leng)卻(que)，溫度比(bi)殼(ke)體低(di)，負荷越大(da)，殼(ke)體膨脹越厲害，軸間(jian)距加(jia)大(da)，所(suo)以間(jian)隙(xi)會(hui)增大(da)。

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