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像(xiang)素(su)和束(shu)斑(ban)的匹配(pei)(pei)并(bing)非(fei)指束(shu)斑(ban)完全小于像(xiang)素(su)框，束(shu)斑(ban)可(ke)以看(kan)成是(shi)一(yi)個衍射波，中(zhong)間呈類似高斯分布，只要半高寬和像(xiang)素(su)大致相等則(ze)視為匹配(pei)(pei)。而此時束(shu)斑(ban)的大小是(shi)大于像(xiang)素(su)的。
而且掃描電鏡是靠電子束的掃描運動，只要不同像素點覆蓋區域的電子產額能夠被探測器有效處理和區分，那電鏡圖片也就能區分。所以掃描電鏡是完全可分辨比束斑更小的細節的，而有點地方說掃描電鏡不能區分比束斑更小的說法是不夠嚴密的。束斑是單點像素1.3～2倍左右，都是匹配的條件。
直(zhi)接(jie)觀(guan)察(cha)大(da)試樣(yang)(yang)的(de)(de)(de)原(yuan)始表面(mian)。它能(neng)(neng)夠(gou)直(zhi)接(jie)觀(guan)察(cha)直(zhi)徑100 mm，高(gao)50 mm，或更大(da)尺寸(cun)的(de)(de)(de)試樣(yang)(yang)，對試樣(yang)(yang)的(de)(de)(de)形(xing)狀沒有任何限制，粗糙(cao)的(de)(de)(de)表面(mian)也能(neng)(neng)觀(guan)察(cha)，這便免除了制備樣(yang)(yang)品的(de)(de)(de)麻煩，抗性(xing)淀粉含量測試服務，而(er)且能(neng)(neng)真實觀(guan)察(cha)試樣(yang)(yang)本身(shen)物質(zhi)成分(fen)不同的(de)(de)(de)襯度（背反射電子(zi)象）。
觀察厚試樣。其在觀察厚試樣時，能得到高的分辨率和真實的形貌。掃描電子顯微的分辨率介于光學顯微鏡和透射電子顯微鏡之間。但在對厚塊試樣的觀察進行比較時，因為在透射電子顯微鏡中還要采用復膜方法，而復膜的分辨率通常只能達到10 nm，且觀察的不是試樣本身，因此，用掃描電子顯微鏡觀察厚塊試樣更有利，更能得到真實的試樣表面資料。
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