掃(sao)描電鏡(jing)雖(sui)然是顯微鏡(jing)家族中的(de)后起之(zhi)秀，復眼透射電鏡(jing)檢測服務(wu)，但由(you)于其本身具有(you)許多的(de)優點，發展速度是很快(kuai)的(de)。 

1 儀器分辨(bian)率較高(gao)，通(tong)過二次電子像能夠觀察試樣表面6nm左右的細節(jie)，采用LaB6電子，可以進一(yi)步提高(gao)到3nm。 

2 儀器放大倍數變化范圍大，且能連續可調。因此可以根據需要選擇大小不同的視場進行觀察，同時在高放大倍數下也可獲得一般透射電鏡較難達到的高亮度的清晰圖像。

分辨率是掃(sao)描電(dian)鏡基本(ben)的(de)性能判(pan)斷(duan)指標(biao)，首先我們要弄清(qing)掃(sao)描電(dian)鏡分辨率的(de)一(yi)些細(xi)節(jie)問題。

通常有關分(fen)辨(bian)率的(de)問題，都會遵(zun)循瑞利判據(ju)。即一個光(guang)點按(an)照衍(yan)(yan)射(she)理論會是一個衍(yan)(yan)射(she)斑(ban)，兩(liang)個光(guang)點逐步靠近(jin)時，對應的(de)衍(yan)(yan)射(she)斑(ban)也從(cong)分(fen)離(li)趨于(yu)重(zhong)合(he)。當兩(liang)個衍(yan)(yan)射(she)斑(ban)的(de)半高寬重(zhong)疊，則認為(wei)不可區分(fen)了。此時兩(liang)個衍(yan)(yan)射(she)斑(ban)之間的(de)距離(li)即為(wei)分(fen)辨(bian)率，。

但一般單幀圖(tu)像的(de)(de)儀器才完(wan)全符合此(ci)規律(lv)，比(bi)如TEM、光學顯(xian)微(wei)鏡(jing)等。掃描電鏡(jing)的(de)(de)分辨率以瑞利判據為(wei)基礎(chu)，但也卻略有不同。掃描電鏡(jing)是(shi)屬于電子束移動(dong)型的(de)(de)，并不完(wan)全適(shi)用半高(gao)寬(kuan)重(zhong)合的(de)(de)概念。

掃描電鏡的分辨率分為理論分辨率、驗收分辨率，和一般測試過程中能達到的分辨率。

電子(zi)顯(xian)(xian)微(wei)鏡(jing)是使(shi)用(yong)電子(zi)來展(zhan)示(shi)物件的(de)(de)內部或表面的(de)(de)顯(xian)(xian)微(wei)鏡(jing)。高速的(de)(de)電子(zi)的(de)(de)波(bo)長比可見光(guang)的(de)(de)波(bo)長短（波(bo)粒二(er)象性），而顯(xian)(xian)微(wei)鏡(jing)的(de)(de)分辨率受其使(shi)用(yong)的(de)(de)波(bo)長的(de)(de)限制(zhi)，因此電子(zi)顯(xian)(xian)微(wei)鏡(jing)的(de)(de)理論分辨率（約(yue)0.1納米）遠高于光(guang)學顯(xian)(xian)微(wei)鏡(jing)的(de)(de)分辨率（約(yue)200納米）。

透射電子顯微鏡（Transmission electron microscope，縮寫TEM），簡稱透射電鏡 ，是把經加速和聚集的電子束投射到非常薄的樣品上，電子與樣品中的原子碰撞而改變方向，從而產生立體角散射。散射角的大小與樣品的密度、厚度相關，因此可以形成明暗不同的影像，影像將在放大、聚焦后在成像器件（如熒光屏、膠片、以及感光耦合組件）上顯示出來。