氦質譜檢漏系統是一種高靈敏度的(de)(de)泄(xie)漏檢測設備，其原理(li)基于帶(dai)電粒子(zi)在磁場中的(de)(de)偏轉以及氣體分子(zi)對電磁輻射的(de)(de)吸收。該系統的(de)(de)部件(jian)是氦離(li)子(zi)源和質譜儀。當需(xu)要檢查的(de)(de)對象內部存在微小壓力(li)時(shi)(shi)，可以使用液態惰性氣體作為示蹤劑（例如：氦氣），通過(guo)管道進入待測對象內并(bing)被稀釋(shi)到很低(di)濃度后從密封區(qu)域中逸出(chu)形成一定的(de)(de)背景放散率Rb。此時(shi)(shi)可以通過(guo)測量(liang)總(zong)釋(shi)放量(liang)Ra來判斷泄(xie)露(lu)(lu)是否發生，若Ra>Rb+ΔR且(qie)ΔR足夠小時(shi)(shi)則認(ren)為發生了(le)泄(xie)露(lu)(lu)[1]。

氦(hai)質(zhi)譜檢(jian)漏系(xi)(xi)統(tong)是(shi)(shi)(shi)一種(zhong)用(yong)于檢(jian)測(ce)(ce)和定位(wei)容器(qi)(qi)(qi)或(huo)管(guan)(guan)道(dao)內部缺(que)陷的(de)儀(yi)器(qi)(qi)(qi)。它通過測(ce)(ce)量(liang)氣(qi)體的(de)氦(hai)濃度來判斷(duan)是(shi)(shi)(shi)否存在缺(que)陷，具有(you)靈敏度高、檢(jian)測(ce)(ce)范圍廣、操作(zuo)簡(jian)單等(deng)優點(dian)。該(gai)系(xi)(xi)統(tong)包(bao)括氦(hai)氣(qi)發生器(qi)(qi)(qi)、質(zhi)譜檢(jian)測(ce)(ce)器(qi)(qi)(qi)、數據采(cai)集和處理(li)系(xi)(xi)統(tong)等(deng)組成(cheng)。其工作(zuo)原理(li)是(shi)(shi)(shi)，通過向容器(qi)(qi)(qi)或(huo)管(guan)(guan)道(dao)內注(zhu)入(ru)氦(hai)氣(qi)，然(ran)后用(yong)質(zhi)譜檢(jian)測(ce)(ce)器(qi)(qi)(qi)測(ce)(ce)量(liang)氦(hai)氣(qi)的(de)濃度變化(hua)，從(cong)而發現(xian)缺(que)陷。該(gai)系(xi)(xi)統(tong)可(ke)用(yong)于石油、化(hua)工、制藥、食品(pin)等(deng)行業，廣泛(fan)應用(yong)于氣(qi)體檢(jian)測(ce)(ce)、漏點(dian)定位(wei)等(deng)領域。

氦(hai)質(zhi)(zhi)譜檢(jian)漏(lou)(lou)(lou)系(xi)(xi)統(tong)是(shi)(shi)一(yi)(yi)種用于檢(jian)測(ce)(ce)(ce)和測(ce)(ce)(ce)量容(rong)器(qi)(qi)(qi)(qi)和管(guan)道內(nei)(nei)部氣(qi)(qi)體泄漏(lou)(lou)(lou)的(de)儀器(qi)(qi)(qi)(qi)。它的(de)工作原理是(shi)(shi)利(li)用氦(hai)氣(qi)(qi)在(zai)(zai)不同濃(nong)(nong)度下的(de)特(te)征(zheng)響(xiang)應(ying)來(lai)檢(jian)測(ce)(ce)(ce)漏(lou)(lou)(lou)點。具體來(lai)說，inficon氦(hai)氣(qi)(qi)檢(jian)漏(lou)(lou)(lou)儀，系(xi)(xi)統(tong)包含(han)一(yi)(yi)個充(chong)滿氦(hai)氣(qi)(qi)的(de)容(rong)器(qi)(qi)(qi)(qi)和一(yi)(yi)個檢(jian)測(ce)(ce)(ce)器(qi)(qi)(qi)(qi)。當(dang)(dang)容(rong)器(qi)(qi)(qi)(qi)內(nei)(nei)的(de)氦(hai)氣(qi)(qi)濃(nong)(nong)度發(fa)生(sheng)變(bian)(bian)化時(shi)，其特(te)征(zheng)響(xiang)應(ying)會發(fa)生(sheng)變(bian)(bian)化。通過(guo)檢(jian)測(ce)(ce)(ce)這些變(bian)(bian)化，系(xi)(xi)統(tong)就可以(yi)(yi)確定(ding)容(rong)器(qi)(qi)(qi)(qi)內(nei)(nei)是(shi)(shi)否(fou)存(cun)在(zai)(zai)泄漏(lou)(lou)(lou)。系(xi)(xi)統(tong)通常包含(han)多個傳(chuan)感(gan)器(qi)(qi)(qi)(qi)，每個傳(chuan)感(gan)器(qi)(qi)(qi)(qi)都可以(yi)(yi)檢(jian)測(ce)(ce)(ce)不同的(de)氦(hai)氣(qi)(qi)濃(nong)(nong)度。當(dang)(dang)傳(chuan)感(gan)器(qi)(qi)(qi)(qi)檢(jian)測(ce)(ce)(ce)到(dao)氦(hai)氣(qi)(qi)濃(nong)(nong)度發(fa)生(sheng)變(bian)(bian)化時(shi)，它會將信號發(fa)送給(gei)系(xi)(xi)統(tong)的(de)控制器(qi)(qi)(qi)(qi)。控制器(qi)(qi)(qi)(qi)會根據設定(ding)的(de)閾值來(lai)確定(ding)是(shi)(shi)否(fou)存(cun)在(zai)(zai)泄漏(lou)(lou)(lou)，并決定(ding)是(shi)(shi)否(fou)需要打開排(pai)氣(qi)(qi)裝置來(lai)排(pai)除(chu)泄漏(lou)(lou)(lou)。總的(de)來(lai)說，氦(hai)質(zhi)(zhi)譜檢(jian)漏(lou)(lou)(lou)系(xi)(xi)統(tong)是(shi)(shi)一(yi)(yi)種非常有效的(de)檢(jian)測(ce)(ce)(ce)氣(qi)(qi)體泄漏(lou)(lou)(lou)的(de)方(fang)法(fa)。它可以(yi)(yi)檢(jian)測(ce)(ce)(ce)到(dao)微小的(de)泄漏(lou)(lou)(lou)，并且準確度高，是(shi)(shi)石(shi)油(you)和化工行業等(deng)領域中廣泛使用的(de)一(yi)(yi)種儀器(qi)(qi)(qi)(qi)。