像素(su)和(he)束(shu)斑的(de)(de)匹配并(bing)非指束(shu)斑完(wan)全小(xiao)于(yu)像素(su)框，電鏡技術服務，束(shu)斑可以看成(cheng)是(shi)一個衍射波(bo)，中間呈類似高斯分布，只要半高寬和(he)像素(su)大(da)致(zhi)相等(deng)則視為匹配。而(er)此時(shi)束(shu)斑的(de)(de)大(da)小(xiao)是(shi)大(da)于(yu)像素(su)的(de)(de)。

而且掃描電鏡是靠電子束的掃描運動，只要不同像素點覆蓋區域的電子產額能夠被探測器有效處理和區分，那電鏡圖片也就能區分。所以掃描電鏡是完全可分辨比束斑更小的細節的，而有點地方說掃描電鏡不能區分比束斑更小的說法是不夠嚴密的。束斑是單點像素1.3～2倍左右，都是匹配的條件。

所以(yi)反映在電鏡圖像上，改變焦距(ju)(ju)的時(shi)候會出現兩個嚴(yan)重的拉(la)伸(shen)，拉(la)伸(shen)方向可(ke)能因樣(yang)品而(er)不(bu)同(tong)，但是這兩個拉(la)伸(shen)方向一定(ding)正(zheng)交。所以(yi)此時(shi)將焦距(ju)(ju)調(diao)節(jie)至兩個拉(la)伸(shen)明顯(xian)狀態的中間位置(zhi)，基本固定(ding)焦距(ju)(ju)。然后在此焦距(ju)(ju)下，進行消像散線圈的調(diao)節(jie)，先調(diao)X或Y中的一個維(wei)度，待圖像達(da)到清楚后再(zai)調(diao)節(jie)另一個維(wei)度。

有關拉伸方向的判斷并不困難，試樣中的各種特征點都可以作為判斷依據，比如孔洞或者顆粒，或者樣品邊緣，都可以輕易的進行判斷。尤其在像散比較大時，不要焦距和像散的兩個維度亂調一氣，以免像散過大而完全無從判斷。

電子顯微(wei)鏡是使(shi)(shi)用電子來展示物件的(de)(de)內部(bu)或表面(mian)的(de)(de)顯微(wei)鏡。高速的(de)(de)電子的(de)(de)波長(chang)(chang)比可見光(guang)的(de)(de)波長(chang)(chang)短（波粒二象性），而顯微(wei)鏡的(de)(de)分辨(bian)率受其(qi)使(shi)(shi)用的(de)(de)波長(chang)(chang)的(de)(de)限制，因此電子顯微(wei)鏡的(de)(de)理論(lun)分辨(bian)率（約0.1納米）遠(yuan)高于光(guang)學(xue)顯微(wei)鏡的(de)(de)分辨(bian)率（約200納米）。

透射電子顯微鏡（Transmission electron microscope，縮寫TEM），簡稱透射電鏡 ，是把經加速和聚集的電子束投射到非常薄的樣品上，電子與樣品中的原子碰撞而改變方向，從而產生立體角散射。散射角的大小與樣品的密度、厚度相關，因此可以形成明暗不同的影像，影像將在放大、聚焦后在成像器件（如熒光屏、膠片、以及感光耦合組件）上顯示出來。