氦(hai)(hai)質(zhi)譜(pu)檢漏(lou)儀是(shi)一(yi)種高靈敏(min)度的(de)(de)氣體(ti)檢測儀器，主(zhu)要用于測量真空系(xi)統中的(de)(de)微小泄漏(lou)。其原(yuan)理是(shi)利(li)用氦(hai)(hai)氣作(zuo)(zuo)為工作(zuo)(zuo)流體(ti)在磁場(chang)中發生的(de)(de)質(zhi)量分離來探測和定(ding)位(wei)系(xi)統的(de)(de)任何缺(que)陷或(huo)損(sun)壞位(wei)置的(de)(de)設(she)備之一(yi)。該設(she)備的(de)(de)優點(dian)包括高度敏(min)感、快速響應時(shi)間和高分辨率等特性，適用于各種不同(tong)的(de)(de)應用領(ling)(ling)域(yu)(yu)，如(ru)航空航天、核能工程、石(shi)油化工等領(ling)(ling)域(yu)(yu)。同(tong)時(shi)它可以實時(shi)監(jian)控(kong)壓力(li)變(bian)化并給出指示信號以及(ji)可實現遠距離移動(dong)檢查表面無損(sun)時(shi)讀數記(ji)錄及(ji)數據處理管(guan)理等功能。

真空箱氦檢(jian)(jian)漏(lou)(lou)系(xi)(xi)統(tong)是一種(zhong)用(yong)(yong)于(yu)(yu)檢(jian)(jian)測(ce)和(he)測(ce)量(liang)真空容器(qi)(qi)內氦氣泄(xie)漏(lou)(lou)的設備(bei)。它(ta)通(tong)過(guo)將(jiang)氦氣充入真空容器(qi)(qi)內，然后使(shi)用(yong)(yong)檢(jian)(jian)漏(lou)(lou)儀(yi)器(qi)(qi)對容器(qi)(qi)內的氦氣進行檢(jian)(jian)測(ce)，以(yi)(yi)確定容器(qi)(qi)是否存(cun)在泄(xie)漏(lou)(lou)。檢(jian)(jian)漏(lou)(lou)系(xi)(xi)統(tong)通(tong)常(chang)會使(shi)用(yong)(yong)一些的技(ji)術和(he)傳感(gan)器(qi)(qi)，例如光譜儀(yi)、電渦流傳感(gan)器(qi)(qi)等，氦質(zhi)譜檢(jian)(jian)漏(lou)(lou)系(xi)(xi)統(tong)，這些技(ji)術和(he)傳感(gan)器(qi)(qi)可以(yi)(yi)非常(chang)準確地檢(jian)(jian)測(ce)出容器(qi)(qi)內氦氣的泄(xie)漏(lou)(lou)量(liang)。真空箱氦檢(jian)(jian)漏(lou)(lou)系(xi)(xi)統(tong)廣泛應用(yong)(yong)于(yu)(yu)航空航天、電子、半導(dao)體、等領(ling)域，可以(yi)(yi)用(yong)(yong)于(yu)(yu)檢(jian)(jian)測(ce)和(he)避(bi)免由于(yu)(yu)氦氣泄(xie)漏(lou)(lou)而(er)導(dao)致的各(ge)種(zhong)問題，保障產品(pin)質(zhi)量(liang)和(he)安全生(sheng)產。

氦質譜(pu)檢(jian)漏系(xi)(xi)統(tong)是一種用(yong)(yong)(yong)于(yu)檢(jian)測(ce)和(he)測(ce)量(liang)微小泄(xie)漏的(de)(de)設備(bei)，主要用(yong)(yong)(yong)于(yu)航空(kong)航天、汽車制(zhi)造等(deng)領(ling)域。它利用(yong)(yong)(yong)高(gao)純度(du)惰性氣(qi)體(ti)——氦氣(qi)作(zuo)為示蹤劑，通過收集和(he)分析從泄(xie)釋放(fang)出來的(de)(de)氦氣(qi)來定(ding)位(wei)并定(ding)量(liang)測(ce)量(liang)的(de)(de)實際物理參數值(zhi)的(de)(de)大(da)小與位(wei)置。該(gai)系(xi)(xi)統(tong)的(de)(de)應用(yong)(yong)(yong)范圍廣(guang)泛且多樣化：在飛機(ji)發(fa)動(dong)機(ji)上可(ke)(ke)以檢(jian)查油(you)箱是否存在滲漏；對密封條橡膠制(zhi)品中(zhong)的(de)(de)缺陷及龜(gui)裂等(deng)進行檢(jian)驗(yan)，以評價輪胎質量(liang)的(de)(de)好壞等(deng)。此外，還可(ke)(ke)以用(yong)(yong)(yong)來確定(ding)真(zhen)空(kong)器(qi)件或(huo)容器(qi)法(fa)蘭(lan)結合面(mian)的(de)(de)嚴密情況(kuang);在半(ban)導(dao)體(ti)行業可(ke)(ke)監控半(ban)導(dao)體(ti)制(zhi)程(cheng)中(zhong)可(ke)(ke)能出現的(de)(de)問(wen)題(ti)等(deng)等(deng)方面(mian)有著重要的(de)(de)作(zuo)用(yong)(yong)(yong)。