集成電(dian)路產(chan)品(pin)比如(ru)存儲芯片的(de)成本(ben)價格、競爭(zheng)實力(li)和工(gong)藝技術息息相(xiang)(xiang)關，潔(jie)(jie)凈(jing)室(shi)(shi)工(gong)程(cheng)作為項目建(jian)設、投(tou)(tou)產(chan)過程(cheng)中的(de)的(de)環節，光電(dian)顯示凈(jing)化工(gong)程(cheng)安裝(zhuang)，屬于生(sheng)產(chan)輔助(zhu)性(xing)工(gong)程(cheng)，直接和投(tou)(tou)資(zi)相(xiang)(xiang)關，不受限于技術瓶(ping)頸，即使(shi)我國(guo)在制造(zao)工(gong)藝上尚存在差(cha)距(ju)，但是(shi)(shi)潔(jie)(jie)凈(jing)室(shi)(shi)工(gong)程(cheng)行業(ye)不受影響，獲(huo)益于我國(guo)半導體產(chan)業(ye)的(de)發(fa)展。潔(jie)(jie)凈(jing)室(shi)(shi)是(shi)(shi)指將一定空間范(fan)圍內(nei)的(de)空氣(qi)(qi)中的(de)微粒子、有害氣(qi)(qi)體、細(xi)菌等污染(ran)物排除(chu)，助(zhu)力(li)電(dian)池凈(jing)化工(gong)程(cheng)安裝(zhuang)，并將室(shi)(shi)內(nei)的(de)溫度(du)、濕度(du)、潔(jie)(jie)凈(jing)度(du)、壓力(li)、氣(qi)(qi)流速度(du)與氣(qi)(qi)流流向(xiang)、噪音振(zhen)動及照明、靜(jing)電(dian)控(kong)制在某一需求范(fan)圍內(nei)，而所給予特別設計的(de)空間。潔(jie)(jie)凈(jing)室(shi)(shi)的(de)主要原(yuan)理(li)即利(li)用流體力(li)學(xue)的(de)相(xiang)(xiang)關性(xing)質來(lai)控(kong)制室(shi)(shi)內(nei)污染(ran)源。

方案(an)特點：A.建議新風(feng)經過集(ji)中處(chu)理后再與(yu)回(hui)風(feng)混合(he)，這樣可(ke)以減少表冷(leng)(leng)段的冷(leng)(leng)處(chu)理負擔; B.這類(lei)方案(an)一般可(ke)以適用(yong)潔(jie)(jie)凈(jing)(jing)(jing)度較(jiao)高的如百級(ji)、千級(ji)或萬(wan)級(ji)、十萬(wan)級(ji)等較(jiao)低的凈(jing)(jing)(jing)化(hua)無塵(chen)廠房。光學微電(dian)子凈(jing)(jing)(jing)化(hua)工(gong)程一般包(bao)括(kuo)：1、 潔(jie)(jie)凈(jing)(jing)(jing)生產區(qu)；2、潔(jie)(jie)凈(jing)(jing)(jing)輔助(zhu)間（包(bao)括(kuo)人(ren)員凈(jing)(jing)(jing)化(hua)用(yong)房、物(wu)料凈(jing)(jing)(jing)化(hua)用(yong)室和部分生活用(yong)室等）3、管(guan)理區(qu)（包(bao)括(kuo)辦公、值班、管(guan)理和休息等）

潔凈(jing)(jing)系統(tong)方案：系統(tong)流程：新(xin)(xin)風(feng)經(jing)(jing)過(guo)(guo)濾(lv)后與回風(feng)混合(he)，進入風(feng)冷(leng)空(kong)調機，通過(guo)(guo)中(zhong)效(xiao)過(guo)(guo)濾(lv)器(qi)，經(jing)(jing)末端低阻(zu)力(li)高(gao)效(xiao)過(guo)(guo)濾(lv)器(qi)后將符合(he)溫濕度(du)、潔凈(jing)(jing)度(du)要(yao)求的(de)(de)(de)(de)空(kong)氣(qi)送(song)入潔凈(jing)(jing)室(shi)。氣(qi)流組織：1萬(wan)級間全(quan)部采用上送(song)兩側回風(feng)，車間內(nei)利用柱位、側墻做技術夾層回風(feng)道，微生(sheng)物凈(jing)(jing)化(hua)工(gong)(gong)(gong)程安裝，接回風(feng)管道至(zhi)空(kong)氣(qi)處(chu)(chu)理機組。空(kong)氣(qi)經(jing)(jing)粗(cu)、中(zhong)高(gao)三級過(guo)(guo)濾(lv)器(qi)和溫濕度(du)處(chu)(chu)理后送(song)入凈(jing)(jing)房。新(xin)(xin)風(feng)系統(tong)進行組、中(zhong)、二級過(guo)(guo)濾(lv)，以(yi)確(que)(que)保空(kong)氣(qi)的(de)(de)(de)(de)含(han)塵濃度(du)較低，減少外部塵源影響，石家(jia)莊凈(jing)(jing)化(hua)工(gong)(gong)(gong)程安裝，提高(gao)潔凈(jing)(jing)室(shi)的(de)(de)(de)(de)凈(jing)(jing)化(hua)效(xiao)果，并(bing)大大延長(chang)高(gao)效(xiao)過(guo)(guo)濾(lv)器(qi)的(de)(de)(de)(de)使用壽(shou)命，減少運行維護(hu)費用。新(xin)(xin)風(feng)量(liang)根據人(ren)員衛生(sheng)新(xin)(xin)風(feng)要(yao)求(每人(ren)新(xin)(xin)風(feng)量(liang)＞35m3/h)，并(bing)保證潔凈(jing)(jing)室(shi)內(nei)正壓的(de)(de)(de)(de)要(yao)求經(jing)(jing)計算(suan)確(que)(que)定。(人(ren)員在20人(ren)以(yi)內(nei))。系統(tong)排(pai)風(feng)：有設備排(pai)風(feng)及工(gong)(gong)(gong)藝要(yao)求的(de)(de)(de)(de)房間排(pai)風(feng)，此系統(tong)由甲方確(que)(que)定方案。