使用電(dian)(dian)(dian)子導(dao)電(dian)(dian)(dian)性橡膠時(shi)，銀電(dian)(dian)(dian)極(ji)頭廠，由于導(dao)電(dian)(dian)(dian)性填(tian)充劑(ji)添加量的(de)(de)變化(hua)都會引發(fa)電(dian)(dian)(dian)阻劇(ju)烈(lie)變化(hua)，所以存在電(dian)(dian)(dian)阻值(zhi)很難(nan)控制的(de)(de)問題。而(er)且，由于橡膠中的(de)(de)導(dao)電(dian)(dian)(dian)性填(tian)充劑(ji)難(nan)以均勻(yun)分散(san)，所以輥筒的(de)(de)圓周方向(xiang)和(he)寬度方向(xiang)上的(de)(de)電(dian)(dian)(dian)阻值(zhi)不均勻(yun)。

對橡膠(jiao)組合物進行(xing)硫化處理(li)(li)的方法(fa)包括使(shi)用(yong)加壓(ya)(ya)裝置和硫化處理(li)(li)槽的間歇式或連(lian)續式硫化法(fa)。用(yong)間歇式硫化法(fa)進行(xing)硫化處理(li)(li)制造輥筒時(shi)，由于端部和中央部分會產生壓(ya)(ya)力和熱傳遞差(cha)，所以電(dian)阻值(zhi)不均勻(yun)。

而(er)(er)未(wei)米(mi)的(de)0.18um}藝甚(shen)至(zhi)0.13m工藝，所需要(yao)的(de)靶材純度(du)將要(yao)求達到5甚(shen)至(zhi)6N以上。銅與鋁相比較，銅具有更高的(de)抗(kang)電遷移能力(li)及更低(di)的(de)電阻率，能夠(gou)滿足(zu)！導體工藝在0.25um以下的(de)亞(ya)微米(mi)布線的(de)需要(yao)但卻帶米(mi)了其他的(de)問題(ti)：銅與有機介(jie)質(zhi)材料的(de)附(fu)著強度(du)低(di)．并且容(rong)易發生反應，導致(zhi)在使用過(guo)程(cheng)中芯片的(de)銅互連線被腐(fu)蝕(shi)而(er)(er)斷路(lu)。

為(wei)了解決以上這(zhe)些(xie)問題，需要在(zai)銅(tong)(tong)(tong)與(yu)介(jie)質層之間設置阻(zu)擋層。阻(zu)擋層材料(liao)一(yi)般采用(yong)高(gao)熔點(dian)、高(gao)電阻(zu)率的金(jin)屬及(ji)其化合(he)物，因此要求阻(zu)擋層厚度(du)小于50nm，與(yu)銅(tong)(tong)(tong)及(ji)介(jie)質材料(liao)的附著性能良好(hao)。銅(tong)(tong)(tong)互連和(he)鋁互連的阻(zu)擋層材料(liao)是(shi)不同的．需要研制(zhi)(zhi)新的靶(ba)材材料(liao)。銅(tong)(tong)(tong)互連的阻(zu)擋層用(yong)靶(ba)材包括Ta、W、TaSi、WSi等(deng)．但是(shi)Ta、W都是(shi)難(nan)熔金(jin)屬．制(zhi)(zhi)作(zuo)(zuo)相(xiang)對困難(nan)，如今正(zheng)在(zai)研究鉬、鉻等(deng)的臺金(jin)作(zuo)(zuo)為(wei)替(ti)代材料(liao)。

陶瓷靶材

ITO靶(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)、氧(yang)(yang)(yang)(yang)(yang)化(hua)(hua)(hua)鎂(mei)靶(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)、氧(yang)(yang)(yang)(yang)(yang)化(hua)(hua)(hua)鐵靶(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)、氮(dan)(dan)化(hua)(hua)(hua)硅(gui)靶(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)、碳化(hua)(hua)(hua)硅(gui)靶(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)、氮(dan)(dan)化(hua)(hua)(hua)鈦(tai)靶(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)、氧(yang)(yang)(yang)(yang)(yang)化(hua)(hua)(hua)鉻靶(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)、氧(yang)(yang)(yang)(yang)(yang)化(hua)(hua)(hua)鋅(xin)靶(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)、硫(liu)化(hua)(hua)(hua)鋅(xin)靶(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)、二(er)(er)氧(yang)(yang)(yang)(yang)(yang)化(hua)(hua)(hua)硅(gui)靶(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)、一(yi)氧(yang)(yang)(yang)(yang)(yang)化(hua)(hua)(hua)硅(gui)靶(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)、二(er)(er)氧(yang)(yang)(yang)(yang)(yang)化(hua)(hua)(hua)鋯靶(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)、五氧(yang)(yang)(yang)(yang)(yang)化(hua)(hua)(hua)二(er)(er)鈮(ni)靶(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)、二(er)(er)氧(yang)(yang)(yang)(yang)(yang)化(hua)(hua)(hua)鈦(tai)靶(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)、二(er)(er)氧(yang)(yang)(yang)(yang)(yang)化(hua)(hua)(hua)鋯靶(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)，、二(er)(er)氧(yang)(yang)(yang)(yang)(yang)化(hua)(hua)(hua)鉿(jia)靶(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)，二(er)(er)硼(peng)化(hua)(hua)(hua)鈦(tai)靶(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)，二(er)(er)硼(peng)化(hua)(hua)(hua)鋯靶(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)，銀(yin)電(dian)極頭(tou)哪家好，三(san)氧(yang)(yang)(yang)(yang)(yang)化(hua)(hua)(hua)鎢靶(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)，三(san)氧(yang)(yang)(yang)(yang)(yang)化(hua)(hua)(hua)二(er)(er)鋁(lv)靶(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)五氧(yang)(yang)(yang)(yang)(yang)化(hua)(hua)(hua)二(er)(er)鉭(tan)，五氧(yang)(yang)(yang)(yang)(yang)化(hua)(hua)(hua)二(er)(er)鈮(ni)靶(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)、氟(fu)化(hua)(hua)(hua)鎂(mei)靶(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)、氟(fu)化(hua)(hua)(hua)釔靶(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)、硒化(hua)(hua)(hua)鋅(xin)靶(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)、氮(dan)(dan)化(hua)(hua)(hua)鋁(lv)靶(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)，氮(dan)(dan)化(hua)(hua)(hua)硅(gui)靶(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)，淮北銀(yin)電(dian)極頭(tou)，氮(dan)(dan)化(hua)(hua)(hua)硼(peng)靶(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)，氮(dan)(dan)化(hua)(hua)(hua)鈦(tai)靶(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)，碳化(hua)(hua)(hua)硅(gui)靶(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)，鈮(ni)酸鋰靶(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)、鈦(tai)酸鐠靶(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)、鈦(tai)酸鋇靶(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)、鈦(tai)酸鑭靶(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)、氧(yang)(yang)(yang)(yang)(yang)化(hua)(hua)(hua)鎳(nie)靶(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)、濺射靶(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)材(cai)等。