背靶材料：

無(wu)氧(yang)(yang)銅(OFC)– 目前常使用(yong)的作背靶的材(cai)料是無(wu)氧(yang)(yang)銅，因(yin)為無(wu)氧(yang)(yang)銅具有良好的導電性和導熱性，而且比(bi)較(jiao)容易(yi)機械加工(gong)。 如果保養適當，無(wu)氧(yang)(yang)銅背靶可(ke)以重復使用(yong)10次甚至更多。

鉬(mu)(Mo)– 在(zai)某(mou)些使用(yong)條件(jian)比較特(te)殊的情況下，如需要進行高溫帖合的條件(jian)下，純銀板材多少錢，無氧(yang)化(hua)銅容(rong)易(yi)被氧(yang)化(hua)和發生翹曲(qu)， 所(suo)以會使用(yong)金(jin)屬鉬(mu)為(wei)(wei)背靶材料或某(mou)些靶材如陶瓷甚至某(mou)些金(jin)屬靶材的熱膨脹系(xi)數無法與無氧(yang)銅匹(pi)配，同(tong)樣也需要使用(yong)金(jin)屬鉬(mu)作為(wei)(wei)背靶材料。

什么(me)是(shi)靶材綁定？靶材綁定的適用范(fan)圍、流程？

 綁定(ding)是指用焊料將靶材(cai)與背靶焊接起來。主(zhu)要(yao)有(you)三種(zhong)的方式：壓接、釬焊和導電膠。

 1.壓(ya)接：采用(yong)壓(ya)條，一般為了提高接觸的良(liang)好性，天津(jin)純(chun)銀板材，會增加石墨紙、Pb或In皮(pi)；

 2.釬焊：一般使用軟釬料的情況下，要(yao)求濺(jian)射功率小于20W/cm2，釬料常用In、Sn、In-Sn；我司采用銦焊綁定技術。

 3.導(dao)電(dian)膠(jiao)：采(cai)用的導(dao)電(dian)膠(jiao)要耐高(gao)溫(wen)，厚度在(zai)0.02-0.05um。

以(yi)含(han)有(you)氯原子的(de)(de)(de)(de)表(biao)(biao)(biao)橡(xiang)膠(jiao)(jiao)(jiao)(jiao)(jiao)(jiao)為代(dai)表(biao)(biao)(biao)的(de)(de)(de)(de)橡(xiang)膠(jiao)(jiao)(jiao)(jiao)(jiao)(jiao)組(zu)(zu)分，純銀(yin)板材誰家好，用(yong)于(yu)導(dao)電(dian)(dian)橡(xiang)膠(jiao)(jiao)(jiao)(jiao)(jiao)(jiao)輥(gun)，以(yi)允(yun)許(xu)導(dao)電(dian)(dian)橡(xiang)膠(jiao)(jiao)(jiao)(jiao)(jiao)(jiao)輥(gun)呈離子導(dao)電(dian)(dian)性(xing)。該情(qing)況下，含(han)有(you)氯原子的(de)(de)(de)(de)橡(xiang)膠(jiao)(jiao)(jiao)(jiao)(jiao)(jiao)組(zu)(zu)分具有(you)較高(gao)的(de)(de)(de)(de)表(biao)(biao)(biao)面自由能(neng)。因此(ci)，含(han)有(you)氯原子的(de)(de)(de)(de)橡(xiang)膠(jiao)(jiao)(jiao)(jiao)(jiao)(jiao)組(zu)(zu)分容(rong)易(yi)粘附于(yu)色(se)粉(fen)和用(yong)于(yu)色(se)粉(fen)的(de)(de)(de)(de)添(tian)加劑(ji)上。當含(han)有(you)氯原子的(de)(de)(de)(de)橡(xiang)膠(jiao)(jiao)(jiao)(jiao)(jiao)(jiao)組(zu)(zu)分與離子導(dao)電(dian)(dian)的(de)(de)(de)(de)單體聚合時，純銀(yin)板材哪(na)家好，導(dao)電(dian)(dian)輥(gun)具有(you)較高(gao)的(de)(de)(de)(de)表(biao)(biao)(biao)面自由能(neng)并且容(rong)易(yi)弄(nong)濕。因此(ci)粘附于(yu)導(dao)電(dian)(dian)橡(xiang)膠(jiao)(jiao)(jiao)(jiao)(jiao)(jiao)輥(gun)的(de)(de)(de)(de)色(se)粉(fen)量(liang)變(bian)(bian)得(de)較高(gao)。當通過用(yong)紫外線照射其(qi)表(biao)(biao)(biao)面或者使(shi)其(qi)暴(bao)露于(yu)臭氧中，使(shi)導(dao)電(dian)(dian)橡(xiang)膠(jiao)(jiao)(jiao)(jiao)(jiao)(jiao)輥(gun)的(de)(de)(de)(de)表(biao)(biao)(biao)面上形成(cheng)氧化膜時，導(dao)電(dian)(dian)橡(xiang)膠(jiao)(jiao)(jiao)(jiao)(jiao)(jiao)輥(gun)表(biao)(biao)(biao)面的(de)(de)(de)(de)氧濃度變(bian)(bian)得(de)較高(gao)。