激(ji)(ji)(ji)光(guang)(guang)(guang)(guang)混(hun)(hun)合(he)氣(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)中的(de)(de)(de)(de)(de)發生(sheng)氣(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)體(ti)(ti)(ti)是(shi)(shi)激(ji)(ji)(ji)光(guang)(guang)(guang)(guang)發生(sheng)器(qi)上用來產(chan)生(sheng)激(ji)(ji)(ji)光(guang)(guang)(guang)(guang)的(de)(de)(de)(de)(de)氣(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)體(ti)(ti)(ti)，對(dui)氣(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)體(ti)(ti)(ti)質(zhi)量要(yao)(yao)(yao)求(qiu)高(gao)(gao)，激(ji)(ji)(ji)光(guang)(guang)(guang)(guang)混(hun)(hun)合(he)氣(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)配(pei)制精度(du)(du)要(yao)(yao)(yao)求(qiu)高(gao)(gao)，激(ji)(ji)(ji)光(guang)(guang)(guang)(guang)混(hun)(hun)合(he)氣(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)定(ding)制廠家，高(gao)(gao)純(chun)(chun)(chun)二氧化碳純(chun)(chun)(chun)度(du)(du)達99.999%，高(gao)(gao)純(chun)(chun)(chun)氮(dan)氣(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)的(de)(de)(de)(de)(de)純(chun)(chun)(chun)度(du)(du)99.999%，高(gao)(gao)純(chun)(chun)(chun)氦氣(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)的(de)(de)(de)(de)(de)純(chun)(chun)(chun)度(du)(du)要(yao)(yao)(yao)求(qiu)99.999%，激(ji)(ji)(ji)光(guang)(guang)(guang)(guang)混(hun)(hun)合(he)氣(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)定(ding)制，二氧化碳是(shi)(shi)產(chan)生(sheng)激(ji)(ji)(ji)光(guang)(guang)(guang)(guang)的(de)(de)(de)(de)(de)，氦氣(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)是(shi)(shi)冷(leng)卻激(ji)(ji)(ji)光(guang)(guang)(guang)(guang)器(qi)的(de)(de)(de)(de)(de)，氮(dan)氣(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)是(shi)(shi)平衡氣(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)體(ti)(ti)(ti)，氣(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)體(ti)(ti)(ti)中的(de)(de)(de)(de)(de)水分(fen)、氧份、有機氣(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)體(ti)(ti)(ti)雜(za)質(zhi)對(dui)激(ji)(ji)(ji)光(guang)(guang)(guang)(guang)機的(de)(de)(de)(de)(de)鏡片(pian)(pian)損(sun)傷特(te)別大，能快(kuai)速減(jian)少鏡片(pian)(pian)的(de)(de)(de)(de)(de)壽命。所以激(ji)(ji)(ji)光(guang)(guang)(guang)(guang)機對(dui)這些(xie)氣(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)體(ti)(ti)(ti)的(de)(de)(de)(de)(de)質(zhi)量要(yao)(yao)(yao)求(qiu)特(te)別高(gao)(gao)。氣(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)體(ti)(ti)(ti)激(ji)(ji)(ji)光(guang)(guang)(guang)(guang)器(qi)的(de)(de)(de)(de)(de)重要(yao)(yao)(yao)特(te)點之一(yi)，激(ji)(ji)(ji)光(guang)(guang)(guang)(guang)工作物質(zhi)是(shi)(shi)混(hun)(hun)合(he)氣(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)或單一(yi)純(chun)(chun)(chun)氣(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)體(ti)(ti)(ti)因此，對(dui)激(ji)(ji)(ji)光(guang)(guang)(guang)(guang)混(hun)(hun)合(he)氣(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)組分(fen)的(de)(de)(de)(de)(de)純(chun)(chun)(chun)度(du)(du)有著特(te)殊(shu)要(yao)(yao)(yao)求(qiu)，包裝(zhuang)混(hun)(hun)合(he)氣(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)的(de)(de)(de)(de)(de)鋼瓶(ping)，充裝(zhuang)前(qian)也必須進(jin)行干燥處理，防止污染(ran)混(hun)(hun)合(he)氣(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)。20W機型可發生(sheng)275.4至1090.0 nm的(de)(de)(de)(de)(de)一(yi)些(xie)激(ji)(ji)(ji)光(guang)(guang)(guang)(guang)光(guang)(guang)(guang)(guang)。主要(yao)(yao)(yao)的(de)(de)(de)(de)(de)可見(jian)光(guang)(guang)(guang)(guang)波(bo)長分(fen)別是(shi)(shi)514.5、501.7、496.5、 488.0、476.5、472.7、465.8、457.9、454.5 nm。藍綠光(guang)(guang)(guang)(guang)波(bo)段中，而的(de)(de)(de)(de)(de)是(shi)(shi)514.5及488 nm。氪離子激(ji)(ji)(ji)光(guang)(guang)(guang)(guang)可發生(sheng)337.4至799.3 nm，的(de)(de)(de)(de)(de)是(shi)(shi)647.1 nm，其次(ci)為413.1及530.9 nm。產(chan)品中，有將氬氣(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)與氪氣(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)混(hun)(hun)合(he)的(de)(de)(de)(de)(de)機型。

激(ji)光(guang)(guang)氣(qi)(qi)(qi)體(ti)(ti)(ti)(ti)中的(de)發生(sheng)氣(qi)(qi)(qi)體(ti)(ti)(ti)(ti)時激(ji)光(guang)(guang)發生(sheng)器上用來產生(sheng)激(ji)光(guang)(guang)的(de)氣(qi)(qi)(qi)體(ti)(ti)(ti)(ti)，對氣(qi)(qi)(qi)體(ti)(ti)(ti)(ti)質(zhi)(zhi)量(liang)要(yao)求高(gao)(gao)(gao)，激(ji)光(guang)(guang)混(hun)(hun)合(he)氣(qi)(qi)(qi)配制精(jing)度要(yao)求高(gao)(gao)(gao)，高(gao)(gao)(gao)純(chun)(chun)(chun)二(er)氧化碳純(chun)(chun)(chun)度達(da)99.999%，高(gao)(gao)(gao)純(chun)(chun)(chun)氮氣(qi)(qi)(qi)的(de)純(chun)(chun)(chun)度99.999%，高(gao)(gao)(gao)純(chun)(chun)(chun)氦(hai)氣(qi)(qi)(qi)的(de)純(chun)(chun)(chun)度要(yao)求99.999%，二(er)氧化碳是產生(sheng)激(ji)光(guang)(guang)的(de)，氦(hai)氣(qi)(qi)(qi)是冷卻激(ji)光(guang)(guang)器的(de)，氮氣(qi)(qi)(qi)是平(ping)衡(heng)氣(qi)(qi)(qi)體(ti)(ti)(ti)(ti)，激(ji)光(guang)(guang)混(hun)(hun)合(he)氣(qi)(qi)(qi)報價(jia)，氣(qi)(qi)(qi)體(ti)(ti)(ti)(ti)中的(de)水分(fen)、氧份(fen)、有機(ji)氣(qi)(qi)(qi)體(ti)(ti)(ti)(ti)雜(za)質(zhi)(zhi)對激(ji)光(guang)(guang)機(ji)的(de)鏡(jing)片損傷(shang)特別(bie)大(da)(da)，能快速減(jian)少(shao)鏡(jing)片的(de)壽命。所以激(ji)光(guang)(guang)機(ji)對這些氣(qi)(qi)(qi)體(ti)(ti)(ti)(ti)的(de)質(zhi)(zhi)量(liang)要(yao)求特別(bie)高(gao)(gao)(gao)。近年(nian)來CO2激(ji)光(guang)(guang)加(jia)工(gong)(gong)設備雖(sui)然漸趨普及，但激(ji)光(guang)(guang)畢竟(jing)是一種新的(de)工(gong)(gong)具，激(ji)光(guang)(guang)加(jia)工(gong)(gong)技術亦不(bu)同于傳(chuan)統的(de)加(jia)工(gong)(gong)方法(fa)，所以工(gong)(gong)業界在引(yin)進使用CO2激(ji)光(guang)(guang)器的(de)過(guo)程(cheng)中，曾經遇到各種各樣的(de)問題，給很多廠(chang)商造(zao)成(cheng)不(bu)少(shao)困擾。目(mu)元激(ji)光(guang)(guang)混(hun)(hun)合(he)氣(qi)(qi)(qi)體(ti)(ti)(ti)(ti)的(de)佳方案組(zu)成(cheng)比例(li)：CO:4%，CO2：8%，He:28%，N2:60%。這種四(si)元激(ji)光(guang)(guang)混(hun)(hun)合(he)氣(qi)(qi)(qi)體(ti)(ti)(ti)(ti)可以是二(er)維激(ji)光(guang)(guang)切割機(ji)床達(da)到輸出功率(lv)，并且大(da)(da)切割鋼板厚度達(da)到25mm，還可以更好(hao)的(de)保(bao)證工(gong)(gong)件質(zhi)(zhi)量(liang)。

近年來CO2激(ji)(ji)(ji)(ji)(ji)光(guang)(guang)加工(gong)(gong)設備雖然(ran)漸趨普(pu)及，但(dan)激(ji)(ji)(ji)(ji)(ji)光(guang)(guang)畢(bi)竟(jing)是(shi)一(yi)種新的(de)(de)(de)(de)工(gong)(gong)具(ju)，激(ji)(ji)(ji)(ji)(ji)光(guang)(guang)混(hun)合氣(qi)(qi)(qi)，激(ji)(ji)(ji)(ji)(ji)光(guang)(guang)加工(gong)(gong)技術亦不(bu)(bu)同(tong)于傳(chuan)統的(de)(de)(de)(de)加工(gong)(gong)方(fang)法(fa)，所以工(gong)(gong)業(ye)界在引進使(shi)用CO2激(ji)(ji)(ji)(ji)(ji)光(guang)(guang)器(qi)的(de)(de)(de)(de)過程中，曾經遇到各種各樣的(de)(de)(de)(de)問題，給很多(duo)廠商造(zao)成不(bu)(bu)少困擾(rao)。重要(yao)(yao)的(de)(de)(de)(de)準分(fen)子(zi)激(ji)(ji)(ji)(ji)(ji)光(guang)(guang)，以稀(xi)有氣(qi)(qi)(qi)體(ti)的(de)(de)(de)(de)鹵化(hua)物為自(zi)動介質(zhi)，如(ru)ArF， KrF， XeF， KrCl， XeCl等(deng)。因為受激(ji)(ji)(ji)(ji)(ji)態常以星(xing)號(*)上標(biao)表示，所以有些(xie)數據上寫成ArF*等(deng)。準分(fen)子(zi)不(bu)(bu)會天然(ran)出現，而(er)是(shi)在氣(qi)(qi)(qi)體(ti)混(hun)合物中放電(dian)時形成的(de)(de)(de)(de)。激(ji)(ji)(ji)(ji)(ji)光(guang)(guang)氣(qi)(qi)(qi)體(ti)中的(de)(de)(de)(de)發生氣(qi)(qi)(qi)體(ti)時激(ji)(ji)(ji)(ji)(ji)光(guang)(guang)發生器(qi)上用來產生激(ji)(ji)(ji)(ji)(ji)光(guang)(guang)的(de)(de)(de)(de)氣(qi)(qi)(qi)體(ti)，對氣(qi)(qi)(qi)體(ti)質(zhi)量要(yao)(yao)求(qiu)高(gao)(gao)，激(ji)(ji)(ji)(ji)(ji)光(guang)(guang)混(hun)合氣(qi)(qi)(qi)配制(zhi)精度(du)要(yao)(yao)求(qiu)高(gao)(gao)，高(gao)(gao)純(chun)二氧化(hua)碳純(chun)度(du)達99.999%，高(gao)(gao)純(chun)氮氣(qi)(qi)(qi)的(de)(de)(de)(de)純(chun)度(du)99.999%，高(gao)(gao)純(chun)氦氣(qi)(qi)(qi)的(de)(de)(de)(de)純(chun)度(du)要(yao)(yao)求(qiu)99.999%，二氧化(hua)碳是(shi)產生激(ji)(ji)(ji)(ji)(ji)光(guang)(guang)的(de)(de)(de)(de)，氦氣(qi)(qi)(qi)是(shi)冷卻激(ji)(ji)(ji)(ji)(ji)光(guang)(guang)器(qi)的(de)(de)(de)(de)，氮氣(qi)(qi)(qi)是(shi)平衡氣(qi)(qi)(qi)體(ti)，氣(qi)(qi)(qi)體(ti)中的(de)(de)(de)(de)水分(fen)、氧份、有機(ji)氣(qi)(qi)(qi)體(ti)雜質(zhi)對激(ji)(ji)(ji)(ji)(ji)光(guang)(guang)機(ji)的(de)(de)(de)(de)鏡片損傷(shang)特(te)別大(da)，能快速減少鏡片的(de)(de)(de)(de)壽(shou)命。所以激(ji)(ji)(ji)(ji)(ji)光(guang)(guang)機(ji)對這些(xie)氣(qi)(qi)(qi)體(ti)的(de)(de)(de)(de)質(zhi)量要(yao)(yao)求(qiu)特(te)別高(gao)(gao)。