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分(fen)(fen)辨率(lv)是掃(sao)描(miao)電鏡基本的性(xing)能判斷指標，首先我們要(yao)弄(nong)清掃(sao)描(miao)電鏡分(fen)(fen)辨率(lv)的一些(xie)細節問題(ti)。
通常有(you)關分(fen)辨(bian)率的(de)問題，都會(hui)遵循瑞利判據。即一個(ge)(ge)光(guang)點按照(zhao)衍(yan)射理論會(hui)是一個(ge)(ge)衍(yan)射斑，兩個(ge)(ge)光(guang)點逐步靠近(jin)時，對應的(de)衍(yan)射斑也從分(fen)離(li)趨于重合(he)。當兩個(ge)(ge)衍(yan)射斑的(de)半高寬重疊，則認(ren)為不可區分(fen)了。此時兩個(ge)(ge)衍(yan)射斑之間的(de)距離(li)即為分(fen)辨(bian)率，。
但一(yi)般單幀圖像的(de)(de)儀器才完(wan)全符合此規(gui)律，比如TEM、光學顯微鏡(jing)等。掃描電(dian)鏡(jing)的(de)(de)分辨率以(yi)瑞利判據為(wei)基(ji)礎，但也(ye)卻略有不同。掃描電(dian)鏡(jing)是屬于(yu)電(dian)子束移動型的(de)(de)，并不完(wan)全適用半高(gao)寬(kuan)重合的(de)(de)概念。
掃描電鏡的分辨率分為理論分辨率、驗收分辨率，和一般測試過程中能達到的分辨率。
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