而未米的(de)0.18um}藝甚(shen)至(zhi)0.13m工藝，所(suo)需要的(de)靶材(cai)純度(du)將要求達到5甚(shen)至(zhi)6N以上(shang)。銅(tong)與鋁相比較，銅(tong)具有(you)(you)更(geng)高的(de)抗(kang)電(dian)(dian)遷(qian)移能力及更(geng)低(di)的(de)電(dian)(dian)阻率，能夠滿足！導體工藝在0.25um以下的(de)亞微米布(bu)線的(de)需要但卻帶米了(le)其他(ta)的(de)問題：銅(tong)與有(you)(you)機介質材(cai)料的(de)附著強度(du)低(di)．并且容(rong)易(yi)發生反應，導致在使用過(guo)程中(zhong)芯(xin)片的(de)銅(tong)互連線被(bei)腐蝕而斷路。

為了解(jie)決以上這(zhe)些問題，純銀零部件工藝，需要在銅與介質層(ceng)之間設置阻(zu)(zu)擋(dang)層(ceng)。阻(zu)(zu)擋(dang)層(ceng)材料(liao)一般(ban)采用(yong)高(gao)(gao)熔(rong)點、高(gao)(gao)電阻(zu)(zu)率(lv)的(de)(de)金(jin)屬及其化(hua)合物，因此(ci)要求阻(zu)(zu)擋(dang)層(ceng)厚度小(xiao)于50nm，與銅及介質材料(liao)的(de)(de)附著性(xing)能良好(hao)。銅互(hu)連(lian)和鋁互(hu)連(lian)的(de)(de)阻(zu)(zu)擋(dang)層(ceng)材料(liao)是(shi)(shi)不同的(de)(de)．需要研制新(xin)的(de)(de)靶材材料(liao)。銅互(hu)連(lian)的(de)(de)阻(zu)(zu)擋(dang)層(ceng)用(yong)靶材包括Ta、W、TaSi、WSi等．但是(shi)(shi)Ta、W都(dou)是(shi)(shi)難(nan)熔(rong)金(jin)屬．制作相(xiang)對困(kun)難(nan)，如今正在研究鉬、鉻(ge)等的(de)(de)臺金(jin)作為替代材料(liao)。

在(zai)(zai)儲(chu)存(cun)技術方(fang)面(mian)，高密度、大(da)容量硬盤的(de)(de)(de)(de)發展(zhan)，吉林純(chun)(chun)銀(yin)零部(bu)件，需(xu)要大(da)量的(de)(de)(de)(de)巨磁(ci)阻薄(bo)膜材料，純(chun)(chun)銀(yin)零部(bu)件加工，CoF~Cu多(duo)層復合(he)膜是如(ru)今應用廣(guang)泛的(de)(de)(de)(de)巨磁(ci)阻薄(bo)膜結構。磁(ci)光盤需(xu)要的(de)(de)(de)(de)TbFeCo合(he)金靶(ba)材還在(zai)(zai)進一步發展(zhan)，用它制(zhi)造的(de)(de)(de)(de)磁(ci)光盤具(ju)有(you)存(cun)儲(chu)容量大(da)，壽命長，可反復無(wu)接觸擦寫的(de)(de)(de)(de)特點(dian)。如(ru)今開發出來的(de)(de)(de)(de)磁(ci)光盤，具(ju)有(you)TbFeCo/Ta和TbFeCo/Al的(de)(de)(de)(de)層復合(he)膜結構，TbFeCo/AI結構的(de)(de)(de)(de)Kerr旋轉(zhuan)角(jiao)達到58，而TbFeCofFa則可以接近(jin)0.8。經過研究發現，低磁(ci)導(dao)率的(de)(de)(de)(de)靶(ba)材高交流局部(bu)放電(dian)電(dian)壓(ya)l抗電(dian)強度。

所述(shu)泡沫彈性層包含:至少(shao)三種具有不同體(ti)積電(dian)(dian)阻率(lv)的導電(dian)(dian)性橡膠，這三種導電(dian)(dian)性橡膠的體(ti)積電(dian)(dian)阻率(lv)小于約(yue)I X ο14 Ω Cm ;至少(shao)一(yi)種體(ti)積電(dian)(dian)阻率(lv)為約(yue)IXlO14Qcm或更(geng)大的絕緣橡膠；以及至少(shao)兩種導電(dian)(dian)性填(tian)料(liao)。

所(suo)(suo)述(shu)(shu)絕緣橡(xiang)(xiang)膠(jiao)(jiao)為選(xuan)自由三(san)元(yuan)乙(yi)(yi)(yi)丙橡(xiang)(xiang)膠(jiao)(jiao)、硅(gui)橡(xiang)(xiang)膠(jiao)(jiao)和(he)丁(ding)基橡(xiang)(xiang)膠(jiao)(jiao)構成的(de)組中的(de)至(zhi)少(shao)一(yi)種橡(xiang)(xiang)膠(jiao)(jiao)。根(gen)據本發明的(de)第三(san)方(fang)面，純(chun)銀零部(bu)件報價，所(suo)(suo)述(shu)(shu)導電性橡(xiang)(xiang)膠(jiao)(jiao)和(he)所(suo)(suo)述(shu)(shu)絕緣橡(xiang)(xiang)膠(jiao)(jiao)為氯醚橡(xiang)(xiang)膠(jiao)(jiao)、丁(ding)苯(ben)橡(xiang)(xiang)膠(jiao)(jiao)和(he)三(san)元(yuan)乙(yi)(yi)(yi)丙橡(xiang)(xiang)膠(jiao)(jiao)，或者為氯丁(ding)橡(xiang)(xiang)膠(jiao)(jiao)、氯醚橡(xiang)(xiang)膠(jiao)(jiao)、丁(ding)苯(ben)橡(xiang)(xiang)膠(jiao)(jiao)和(he)三(san)元(yuan)乙(yi)(yi)(yi)丙橡(xiang)(xiang)膠(jiao)(jiao)。根(gen)據本發明的(de)第四(si)方(fang)面，所(suo)(suo)述(shu)(shu)絕緣橡(xiang)(xiang)膠(jiao)(jiao)的(de)含量(liang)為橡(xiang)(xiang)膠(jiao)(jiao)成分總量(liang)的(de)約30質量(liang)％至(zhi)約40質量(liang)％。