激(ji)(ji)(ji)(ji)光(guang)(guang)(guang)(guang)混(hun)合(he)氣(qi)(qi)(qi)(qi)中(zhong)(zhong)(zhong)組(zu)分氣(qi)(qi)(qi)(qi)的(de)(de)(de)(de)(de)純度(du)(du)直接(jie)影響激(ji)(ji)(ji)(ji)光(guang)(guang)(guang)(guang)的(de)(de)(de)(de)(de)性能，特(te)別(bie)是氣(qi)(qi)(qi)(qi)體(ti)(ti)中(zhong)(zhong)(zhong)氧(yang)、水、碳氫化合(he)物(wu)等雜質(zhi)的(de)(de)(de)(de)(de)存在將導致(zhi)激(ji)(ji)(ji)(ji)光(guang)(guang)(guang)(guang)輸出功(gong)率在鏡(面)和電極上的(de)(de)(de)(de)(de)耗(hao)損，還會引起(qi)激(ji)(ji)(ji)(ji)光(guang)(guang)(guang)(guang)發射的(de)(de)(de)(de)(de)不穩定。 激(ji)(ji)(ji)(ji)光(guang)(guang)(guang)(guang)混(hun)合(he)氣(qi)(qi)(qi)(qi)中(zhong)(zhong)(zhong)的(de)(de)(de)(de)(de)發生氣(qi)(qi)(qi)(qi)體(ti)(ti)是激(ji)(ji)(ji)(ji)光(guang)(guang)(guang)(guang)發生器上用(yong)來產生激(ji)(ji)(ji)(ji)光(guang)(guang)(guang)(guang)的(de)(de)(de)(de)(de)氣(qi)(qi)(qi)(qi)體(ti)(ti)，對(dui)(dui)氣(qi)(qi)(qi)(qi)體(ti)(ti)質(zhi)量要求(qiu)高(gao)，激(ji)(ji)(ji)(ji)光(guang)(guang)(guang)(guang)混(hun)合(he)氣(qi)(qi)(qi)(qi)配制精(jing)度(du)(du)要求(qiu)高(gao)，高(gao)純二(er)氧(yang)化碳純度(du)(du)達99.999%，高(gao)純氮氣(qi)(qi)(qi)(qi)的(de)(de)(de)(de)(de)純度(du)(du)99.999%，高(gao)純氦氣(qi)(qi)(qi)(qi)的(de)(de)(de)(de)(de)純度(du)(du)要求(qiu)99.999%，二(er)氧(yang)化碳是產生激(ji)(ji)(ji)(ji)光(guang)(guang)(guang)(guang)的(de)(de)(de)(de)(de)，氦氣(qi)(qi)(qi)(qi)是冷卻激(ji)(ji)(ji)(ji)光(guang)(guang)(guang)(guang)器的(de)(de)(de)(de)(de)，氮氣(qi)(qi)(qi)(qi)是平衡氣(qi)(qi)(qi)(qi)體(ti)(ti)，氣(qi)(qi)(qi)(qi)體(ti)(ti)中(zhong)(zhong)(zhong)的(de)(de)(de)(de)(de)水分、氧(yang)份、有(you)機(ji)氣(qi)(qi)(qi)(qi)體(ti)(ti)雜質(zhi)對(dui)(dui)激(ji)(ji)(ji)(ji)光(guang)(guang)(guang)(guang)機(ji)的(de)(de)(de)(de)(de)鏡片損傷特(te)別(bie)大，能快速減少(shao)鏡片的(de)(de)(de)(de)(de)壽命。所以(yi)激(ji)(ji)(ji)(ji)光(guang)(guang)(guang)(guang)機(ji)對(dui)(dui)這(zhe)些氣(qi)(qi)(qi)(qi)體(ti)(ti)的(de)(de)(de)(de)(de)質(zhi)量要求(qiu)特(te)別(bie)高(gao)。常用(yong)的(de)(de)(de)(de)(de)激(ji)(ji)(ji)(ji)光(guang)(guang)(guang)(guang)焊接(jie)保護氣(qi)(qi)(qi)(qi)體(ti)(ti)主要有(you)N2、Ar、He，其物(wu)化性質(zhi)各有(you)差異(yi)，也因此(ci)對(dui)(dui)焊縫的(de)(de)(de)(de)(de)作用(yong)效(xiao)果也各不相同。

金屬蒸汽離子激(ji)(ji)(ji)(ji)(ji)光(guang)(guang)(guang)中，氦鎘(ge)(ge)(He-Cd)激(ji)(ji)(ji)(ji)(ji)光(guang)(guang)(guang)是(shi)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)，激(ji)(ji)(ji)(ji)(ji)光(guang)(guang)(guang)混(hun)(hun)(hun)合氣(qi)廠(chang)家(jia)，氦硒(xi)(He-Se)、氦鋅(He-Zn)等(deng)激(ji)(ji)(ji)(ji)(ji)光(guang)(guang)(guang)為(wei)此(ci)家(jia)族中之成員。氦鎘(ge)(ge)激(ji)(ji)(ji)(ji)(ji)光(guang)(guang)(guang)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)325 nm紫外線，和(he)441.6 nm藍光(guang)(guang)(guang)，是(shi)常見的(de)(de)(de)(de)(de)(de)輸出。加(jia)(jia)上特殊設(she)計時，它可(ke)同時發生紅光(guang)(guang)(guang)(635.6及636.0 nm)和(he)綠光(guang)(guang)(guang)(533.7及537.8 nm)。它的(de)(de)(de)(de)(de)(de)短波長成分(fen)，在(zai)信息處理方面很(hen)有用。適當(dang)調配各波長的(de)(de)(de)(de)(de)(de)輸出，幾乎能夠發生一切可(ke)見光(guang)(guang)(guang)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)顏色(se)，因此(ci)它的(de)(de)(de)(de)(de)(de)白(bai)光(guang)(guang)(guang)激(ji)(ji)(ji)(ji)(ji)光(guang)(guang)(guang)產品也是(shi)有名的(de)(de)(de)(de)(de)(de)。儲存密(mi)度及鑒(jian)別(bie)能力的(de)(de)(de)(de)(de)(de)提高，使它在(zai)量(liang)度、查驗、記載、印(yin)刷等(deng)方面有許多使用。近年來CO2激(ji)(ji)(ji)(ji)(ji)光(guang)(guang)(guang)加(jia)(jia)工(gong)(gong)設(she)備雖(sui)然漸趨(qu)普(pu)及，但激(ji)(ji)(ji)(ji)(ji)光(guang)(guang)(guang)畢竟是(shi)一種(zhong)新(xin)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)工(gong)(gong)具，太原激(ji)(ji)(ji)(ji)(ji)光(guang)(guang)(guang)混(hun)(hun)(hun)合氣(qi)，激(ji)(ji)(ji)(ji)(ji)光(guang)(guang)(guang)加(jia)(jia)工(gong)(gong)技術亦不(bu)同于傳統的(de)(de)(de)(de)(de)(de)加(jia)(jia)工(gong)(gong)方法(fa)，所以(yi)工(gong)(gong)業(ye)界在(zai)引進使用CO2激(ji)(ji)(ji)(ji)(ji)光(guang)(guang)(guang)器的(de)(de)(de)(de)(de)(de)過程中，曾(ceng)經遇到各種(zhong)各樣的(de)(de)(de)(de)(de)(de)問題，給很(hen)多廠(chang)商造(zao)成不(bu)少困(kun)擾(rao)。重要(yao)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)準分(fen)子激(ji)(ji)(ji)(ji)(ji)光(guang)(guang)(guang)，以(yi)稀有氣(qi)體的(de)(de)(de)(de)(de)(de)鹵(lu)化物為(wei)自動介質，如ArF， KrF， XeF，激(ji)(ji)(ji)(ji)(ji)光(guang)(guang)(guang)混(hun)(hun)(hun)合氣(qi)定制廠(chang)家(jia)， KrCl， XeCl等(deng)。因為(wei)受激(ji)(ji)(ji)(ji)(ji)態常以(yi)星號(hao)(*)上標(biao)表示，所以(yi)有些數據上寫成ArF*等(deng)。準分(fen)子不(bu)會天然出現，而(er)是(shi)在(zai)氣(qi)體混(hun)(hun)(hun)合物中放(fang)電(dian)時形成的(de)(de)(de)(de)(de)(de)。

激(ji)(ji)光(guang)(guang)(guang)切(qie)割(ge)(ge)機(ji)所用(yong)(yong)氣(qi)(qi)(qi)體(ti)(ti)的(de)(de)(de)種類和作(zuo)(zuo)(zuo)用(yong)(yong)：1）空氣(qi)(qi)(qi)：①作(zuo)(zuo)(zuo)為(wei)(wei)(wei)切(qie)割(ge)(ge)氣(qi)(qi)(qi)體(ti)(ti)使(shi)用(yong)(yong) ②作(zuo)(zuo)(zuo)為(wei)(wei)(wei)冷(leng)卻切(qie)使(shi)用(yong)(yong) ③作(zuo)(zuo)(zuo)為(wei)(wei)(wei)光(guang)(guang)(guang)路(lu)內部(bu)除塵使(shi)用(yong)(yong)（保護鏡片延長(chang)鏡片的(de)(de)(de)使(shi)用(yong)(yong)時間）2）普氧：作(zuo)(zuo)(zuo)為(wei)(wei)(wei)切(qie)割(ge)(ge)碳(tan)鋼的(de)(de)(de)氣(qi)(qi)(qi)體(ti)(ti)（助燃(ran)性）純(chun)(chun)(chun)度(du)99.5%3）純(chun)(chun)(chun)氮：作(zuo)(zuo)(zuo)為(wei)(wei)(wei)切(qie)割(ge)(ge)不銹鋼的(de)(de)(de)氣(qi)(qi)(qi)體(ti)(ti)（冷(leng)卻性）純(chun)(chun)(chun)度(du)99.9%（切(qie)割(ge)(ge)碳(tan)鋼速度(du)為(wei)(wei)(wei)3/4） 4）高純(chun)(chun)(chun)氮：作(zuo)(zuo)(zuo)為(wei)(wei)(wei)激(ji)(ji)光(guang)(guang)(guang)器的(de)(de)(de)使(shi)用(yong)(yong)氣(qi)(qi)(qi)體(ti)(ti)，純(chun)(chun)(chun)度(du)：99.999%5）高純(chun)(chun)(chun)氦：作(zuo)(zuo)(zuo)為(wei)(wei)(wei)激(ji)(ji)光(guang)(guang)(guang)器的(de)(de)(de)使(shi)用(yong)(yong)氣(qi)(qi)(qi)體(ti)(ti)，純(chun)(chun)(chun)度(du)：99.999%6）高純(chun)(chun)(chun)二氧化碳(tan)：作(zuo)(zuo)(zuo)為(wei)(wei)(wei)激(ji)(ji)光(guang)(guang)(guang)器的(de)(de)(de)使(shi)用(yong)(yong)氣(qi)(qi)(qi)體(ti)(ti)，純(chun)(chun)(chun)度(du)：99.999% ；氣(qi)(qi)(qi)體(ti)(ti)激(ji)(ji)光(guang)(guang)(guang)器的(de)(de)(de)重要特(te)點之一，激(ji)(ji)光(guang)(guang)(guang)工作(zuo)(zuo)(zuo)物質(zhi)(zhi)是(shi)(shi)混(hun)合(he)氣(qi)(qi)(qi)或(huo)單(dan)一純(chun)(chun)(chun)氣(qi)(qi)(qi)體(ti)(ti)因此，對(dui)激(ji)(ji)光(guang)(guang)(guang)混(hun)合(he)氣(qi)(qi)(qi)組分(fen)的(de)(de)(de)純(chun)(chun)(chun)度(du)有著特(te)殊要求(qiu)，包裝混(hun)合(he)氣(qi)(qi)(qi)的(de)(de)(de)鋼瓶，充裝前也必須進行干(gan)燥處理，激(ji)(ji)光(guang)(guang)(guang)混(hun)合(he)氣(qi)(qi)(qi)定(ding)制，防止污染混(hun)合(he)氣(qi)(qi)(qi)。目元(yuan)激(ji)(ji)光(guang)(guang)(guang)混(hun)合(he)氣(qi)(qi)(qi)體(ti)(ti)的(de)(de)(de)佳方案組成比例：CO:4%，CO2：8%，He:28%，N2:60%。這種四元(yuan)激(ji)(ji)光(guang)(guang)(guang)混(hun)合(he)氣(qi)(qi)(qi)體(ti)(ti)可(ke)以是(shi)(shi)二維激(ji)(ji)光(guang)(guang)(guang)切(qie)割(ge)(ge)機(ji)床達到(dao)輸出功率(lv)，并且(qie)大切(qie)割(ge)(ge)鋼板厚度(du)達到(dao)25mm，還(huan)可(ke)以更好的(de)(de)(de)保證工件(jian)質(zhi)(zhi)量(liang)。