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主營：熱式質量(liang)流(liu)量(liang)控制器(qi)(qi),顯(xian)示儀,電(dian)磁截止閥,電(dian)磁調節閥,過(guo)濾器(qi)(qi)
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流量控(kong)制器在高壓條件下如何使用?
質量(liang)流(liu)量(liang)控(kong)制器的(de)工(gong)作(zuo)壓(ya)(ya)(ya)差范圍(wei)通常(chang)比較小(xiao)， 要(yao)在(zai)高(gao)壓(ya)(ya)(ya)條件(jian)下(xia)(xia)正常(chang)使用需要(yao)特別注意(yi)三(san)點: 一， 是(shi)要(yao)選擇(ze)耐壓(ya)(ya)(ya)符合要(yao)求的(de)MFC; 二(er)， 是(shi)要(yao)挑選工(gong)作(zuo)壓(ya)(ya)(ya)差范圍(wei)大的(de)產品(pin)型號; 三(san)， 要(yao)在(zai)MFC氣路前面加減壓(ya)(ya)(ya)閥(fa)， 穩(wen)定入口氣壓(ya)(ya)(ya)，流(liu)量(liang)表報價， 在(zai)MFC下(xia)(xia)游加背壓(ya)(ya)(ya)閥(fa)， 穩(wen)定反(fan)應室(shi)和(he)MFC出口的(de)氣壓(ya)(ya)(ya)， 適當(dang)調節(jie)減壓(ya)(ya)(ya)閥(fa)和(he)背壓(ya)(ya)(ya)閥(fa)， 要(yao)保證MFC的(de)工(gong)作(zuo)壓(ya)(ya)(ya)差不會超過規定的(de)范圍(wei)。只要(yao)做到以上三(san)點， MFC就能夠在(zai)高(gao)壓(ya)(ya)(ya)條件(jian)下(xia)(xia)穩(wen)定工(gong)作(zuo)。
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流量(liang)控制器的原理(li)是(shi)什(shen)么(me)？
質量(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)流(liu)(liu)(liu)量(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)控(kong)(kong)(kong)制(zhi)器(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)由流(liu)(liu)(liu)量(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)傳(chuan)感器(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)、分流(liu)(liu)(liu)器(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)通(tong)道(dao)(dao)(dao)、流(liu)(liu)(liu)量(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)調節(jie)閥門(men)和放大控(kong)(kong)(kong)制(zhi)器(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)等(deng)部分組(zu)成(cheng)。質量(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)流(liu)(liu)(liu)量(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)控(kong)(kong)(kong)制(zhi)器(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)的(de)剖面結構圖(tu)見圖(tu)1。氣體(ti)(ti)流(liu)(liu)(liu)量(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)傳(chuan)感器(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)采用毛(mao)細管傳(chuan)熱溫差(cha)量(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)熱法(fa)原(yuan)理測(ce)(ce)量(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)氣體(ti)(ti)的(de)質量(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)流(liu)(liu)(liu)量(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)(無需(xu)溫度壓(ya)力補償)。將(jiang)傳(chuan)感器(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)加熱電(dian)(dian)橋(qiao)測(ce)(ce)得的(de)流(liu)(liu)(liu)量(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)信號送(song)入放大器(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)放大， 放大后(hou)的(de)流(liu)(liu)(liu)量(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)檢測(ce)(ce)電(dian)(dian)壓(ya)與設(she)定(ding)(ding)電(dian)(dian)壓(ya)進行比較(jiao)， 再將(jiang)差(cha)值信號放大后(hou)去控(kong)(kong)(kong)制(zhi)調節(jie)閥門(men)，流(liu)(liu)(liu)量(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)表哪家(jia)好，閉環控(kong)(kong)(kong)制(zhi)流(liu)(liu)(liu)過通(tong)道(dao)(dao)(dao)的(de)流(liu)(liu)(liu)量(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)使之與設(she)定(ding)(ding)的(de)流(liu)(liu)(liu)量(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)相等(deng)。分流(liu)(liu)(liu)器(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)決定(ding)(ding)主通(tong)道(dao)(dao)(dao)的(de)流(liu)(liu)(liu)量(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)。與質量(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)流(liu)(liu)(liu)量(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)控(kong)(kong)(kong)制(zhi)器(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)配(pei)套的(de)流(liu)(liu)(liu)量(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)顯示(shi)儀(yi)上(shang)設(she)置有(you)穩壓(ya)電(dian)(dian)源，數(shu)字電(dian)(dian)壓(ya)表， 設(she)定(ding)(ding)電(dian)(dian)位(wei)器(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)， 外(wai)設(she)、內設(she)轉換和三位(wei)閥控(kong)(kong)(kong)開關等(deng)。氣體(ti)(ti)質量(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)流(liu)(liu)(liu)量(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)控(kong)(kong)(kong)制(zhi)器(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)與流(liu)(liu)(liu)量(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)顯示(shi)儀(yi)連接(jie)后(hou)的(de)工(gong)作(zuo)原(yuan)理。
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如何提高流量控制器的準確(que)度？
提高(gao)氣體質量流量控制器實用準確度的(de)措(cuo)施(shi)為：
1.針對氣體(ti)質(zhi)量(liang)(liang)流(liu)量(liang)(liang)控制器的實(shi)(shi)際(ji)(ji)工藝參數，對該(gai)流(liu)量(liang)(liang)計進行“個(ge)性化標準(zhun)”，流(liu)量(liang)(liang)表多少錢(qian)，從而實(shi)(shi)現在實(shi)(shi)際(ji)(ji)使用流(liu)量(liang)(liang)點的一定范(fan)圍內，該(gai)氣體(ti)質(zhi)量(liang)(liang)流(liu)量(liang)(liang)控制器的實(shi)(shi)際(ji)(ji)測(ce)量(liang)(liang)誤差(cha)(與標準(zhun)值的差(cha))趨于零。
2.把好氣體質(zhi)量流(liu)(liu)量控制器的安裝(zhuang)環節，減少(shao)或消(xiao)除機(ji)械(xie)應力、機(ji)械(xie)扭力和(he)機(ji)械(xie)振動等(deng)對該(gai)流(liu)(liu)量計使(shi)用的影響(xiang)。
3.考慮工藝壓力、溫度等對(dui)氣體質量流量控(kong)制器測量準(zhun)確度的影響。
4.把好氣體質量流量控(kong)制器的(de)投用關。
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第6年
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