流(liu)(liu)量單位時(shi)(shi)間流(liu)(liu)過任意截面(mian)的氣體(ti)量，符號(hao)用“Q”表示，單位為(wei)(wei)(wei)帕·升/秒（Pa·L/s）或托·升/秒（Torr·L/s）。流(liu)(liu)導(dao)表示真(zhen)(zhen)空管(guan)道(dao)(dao)通過氣體(ti)的能力。單位為(wei)(wei)(wei)升/秒（L/s），在穩定狀態下，管(guan)道(dao)(dao)流(liu)(liu)導(dao)等(deng)于管(guan)道(dao)(dao)流(liu)(liu)量除以管(guan)道(dao)(dao)兩(liang)端(duan)壓(ya)強差。符號(hao)記作“U”。標準(zhun)大氣壓(ya)壓(ya)強為(wei)(wei)(wei)每平方厘米101325達因的氣壓(ya)，符號(hao)：（Atm）。極限(xian)真(zhen)(zhen)空真(zhen)(zhen)空容(rong)器(qi)經充分抽氣后，穩定在某一真(zhen)(zhen)空度，此真(zhen)(zhen)空度稱為(wei)(wei)(wei)極限(xian)真(zhen)(zhen)空。通常(chang)真(zhen)(zhen)空容(rong)器(qi)須經12小時(shi)(shi)煉氣，再(zai)經12小時(shi)(shi)抽真(zhen)(zhen)空，一個小時(shi)(shi)每隔10分鐘測量一次(ci)(ci)，取(qu)其(qi)10次(ci)(ci)的平均值為(wei)(wei)(wei)極限(xian)真(zhen)(zhen)空值。

滑閥泵(beng)：由于滑閥泵(beng)比(bi)較耐用、可(ke)靠，國(guo)內外(wai)(wai)各種真(zhen)空(kong)(kong)爐、鍍膜機以(yi)(yi)及(ji)干燥(zao)、浸漬等設備都(dou)是(shi)用滑閥泵(beng)作(zuo)為(wei)前級泵(beng)，但是(shi)滑閥泵(beng)鑄件(jian)重，加工工作(zuo)量較大(da)，所(suo)以(yi)(yi)國(guo)外(wai)(wai)各真(zhen)空(kong)(kong)廠(chang)都(dou)在(zai)中國(guo)尋(xun)找合(he)作(zuo)伙伴。為(wei)了使國(guo)產滑閥泵(beng)能(neng)夠進入國(guo)際市場，必須進一步降(jiang)低泵(beng)的振動(dong)噪聲，噴油和(he)漏油，提高滑閥泵(beng)長期運(yun)行的可(ke)靠性。

直聯(lian)旋(xuan)片(pian)(pian)泵(beng)：隨著真空(kong)(kong)技術(shu)在(zai)各個應用(yong)領域的(de)不斷(duan)擴大，直聯(lian)旋(xuan)片(pian)(pian)泵(beng)的(de)需求量越來(lai)越大。由于這種(zhong)泵(beng)數量很多，加工(gong)裝配工(gong)作量很大，價格又很低，所以有的(de)國外真空(kong)(kong)廠商在(zai)中國建(jian)立廠。國產中小型直聯(lian)旋(xuan)片(pian)(pian)泵(beng)在(zai)技術(shu)上已經過(guo)關，價格又遠比國外的(de)泵(beng)便宜，所以國產泵(beng)仍(reng)然有競爭優勢，關鍵(jian)是要(yao)解(jie)決軸封漏(lou)油(you)以及旋(xuan)片(pian)(pian)材料和(he)真空(kong)(kong)泵(beng)油(you)的(de)性(xing)能質量問題，確保直聯(lian)泵(beng)在(zai)高(gao)速、高(gao)溫下(xia)性(xing)能穩定和(he)運行可靠，同時還要(yao)進一步(bu)提高(gao)國產直聯(lian)旋(xuan)片(pian)(pian)泵(beng)抽除水蒸氣的(de)能力。

電(dian)(dian)機(ji)(ji)(ji)功率、轉(zhuan)(zhuan)速(su)是和真空泵(beng)相匹(pi)配(pei)的，不(bu)能更(geng)改。風(feng)(feng)(feng)(feng)(feng)扇(shan)安裝(zhuang)于電(dian)(dian)機(ji)(ji)(ji)主軸上，電(dian)(dian)機(ji)(ji)(ji)轉(zhuan)(zhuan)速(su)決定了風(feng)(feng)(feng)(feng)(feng)扇(shan)轉(zhuan)(zhuan)速(su)，也不(bu)可更(geng)換。增(zeng)加(jia)風(feng)(feng)(feng)(feng)(feng)扇(shan)葉片(pian)(pian)數(shu)量雖能起(qi)到一(yi)定作用(yong)，但葉片(pian)(pian)數(shu)量增(zeng)加(jia)后(hou)，動(dong)平衡不(bu)容易找(zhao)，如(ru)找(zhao)正不(bu)好，會引起(qi)電(dian)(dian)機(ji)(ji)(ji)振(zhen)動(dong)增(zeng)加(jia)。(1)a將原風(feng)(feng)(feng)(feng)(feng)扇(shan)罩(zhao)加(jia)長40cm，在(zai)里面加(jia)裝(zhuang)一(yi)個(ge)與風(feng)(feng)(feng)(feng)(feng)扇(shan)罩(zhao)同直徑軸流(liu)風(feng)(feng)(feng)(feng)(feng)機(ji)(ji)(ji)，軸流(liu)風(feng)(feng)(feng)(feng)(feng)機(ji)(ji)(ji)電(dian)(dian)機(ji)(ji)(ji)功率850W，轉(zhuan)(zhuan)速(su)1489r/min，電(dian)(dian)壓(ya)380V。原風(feng)(feng)(feng)(feng)(feng)扇(shan)繼續保留。軸流(liu)風(feng)(feng)(feng)(feng)(feng)機(ji)(ji)(ji)另設一(yi)路電(dian)(dian)源控(kong)制，軸流(liu)風(feng)(feng)(feng)(feng)(feng)機(ji)(ji)(ji)與主電(dian)(dian)機(ji)(ji)(ji)不(bu)設連(lian)鎖。真空泵(beng)啟動(dong)后(hou)及時啟動(dong)軸流(liu)風(feng)(feng)(feng)(feng)(feng)機(ji)(ji)(ji)運行，真空泵(beng)停運后(hou)30min停運軸流(liu)風(feng)(feng)(feng)(feng)(feng)機(ji)(ji)(ji)，以使(shi)主電(dian)(dian)機(ji)(ji)(ji)得到充(chong)分冷卻;(2)定期(qi)清(qing)除電(dian)(dian)機(ji)(ji)(ji)上灰塵，保持電(dian)(dian)機(ji)(ji)(ji)散熱(re)片(pian)(pian)清(qing)潔，增(zeng)加(jia)其散熱(re)能力;(3)將真空泵(beng)所(suo)在(zai)母線電(dian)(dian)壓(ya)調(diao)整為400V。