氦(hai)質譜(pu)檢漏系統(tong)是一種(zhong)高靈(ling)敏度的(de)(de)(de)泄(xie)漏檢測設備，主要(yao)用(yong)于(yu)真空(kong)系統(tong)中微小(xiao)滲漏的(de)(de)(de)查(cha)找(zhao)和定(ding)位。它(ta)主要(yao)由主機、進(jin)氣管道組(zu)件、離(li)子(zi)源、收(shou)集極、高壓(ya)電(dian)源、探測器等(deng)部分(fen)組(zu)成。該(gai)系統(tong)的(de)(de)(de)功(gong)能是利用(yong)高速流動的(de)(de)(de)高純(chun)度惰性氣體(ti)(ti)（通常(chang)是氮或(huo)）流將待測區域與(yu)外部環境隔離(li)，如果存在(zai)泄(xie)的(de)(de)(de)話，那么在(zai)壓(ya)力梯變的(de)(de)(de)影響下空(kong)氣中的(de)(de)(de)分(fen)子(zi)會從(cong)(cong)有(you)縫(feng)隙的(de)(de)(de)地方(fang)跑出去形(xing)成氣泡(pao)，從(cong)(cong)而產生(sheng)聲(sheng)學信號或(huo)者叫作粒子(zi)束，通過測量這(zhe)個聲(sheng)音(yin)可(ke)以確(que)定(ding)具體(ti)(ti)的(de)(de)(de)漏洞位置(zhi)以及大小(xiao)等(deng)信息。這(zhe)種(zhong)技術(shu)對各種(zhong)材料均不敏感(gan)而且對于(yu)很小(xiao)的(de)(de)(de)體(ti)(ti)積也(ye)可(ke)以進(jin)行準(zhun)確(que)的(de)(de)(de)測定(ding)，工業真空(kong)檢測解決方(fang)案，因此廣泛應(ying)用(yong)于(yu)半(ban)導體(ti)(ti)工業中硅片芯片封裝環境的(de)(de)(de)監測以防止晶(jing)圓損(sun)傷(shang)；也(ye)應(ying)用(yong)于(yu)大規模(mo)集成電(dian)路生(sheng)產線上檢查(cha)每個密封件是否有(you)缺(que)陷。

檢漏(lou)(lou)系統是(shi)一種用于檢測(ce)液(ye)(ye)體(ti)(ti)泄漏(lou)(lou)的(de)(de)裝(zhuang)置，通(tong)常由傳感器(qi)、信號處理(li)電路和控制器(qi)組(zu)成。其(qi)工作(zuo)原理(li)是(shi)基于液(ye)(ye)體(ti)(ti)的(de)(de)物理(li)性質及其(qi)與周圍(wei)環境的(de)(de)關系來實(shi)現對(dui)液(ye)(ye)體(ti)(ti)泄漏(lou)(lou)量(liang)的(de)(de)測(ce)量(liang)。當有液(ye)(ye)體(ti)(ti)通(tong)過(guo)管道或容(rong)器(qi)時，它會滲(shen)透(tou)到壓力敏感膜(mo)片上并使其(qi)變(bian)形，從而改(gai)變(bian)電容(rong)值(zhi)或者電阻值(zhi)等參數，這些變(bian)化會被傳送到處理(li)器(qi)中進行(xing)(xing)(xing)計算和處理(li)得到具體(ti)(ti)的(de)(de)流量(liang)數據(ju)及對(dui)應(ying)的(de)(de)泄露量(liang)數值(zhi)；另外也(ye)會進行(xing)(xing)(xing)壓強(qiang)的(de)(de)比照(zhao)查出在哪一個方位？并能測(ce)出相對(dui)濕度大小來判(pan)別含水量(liang)高(gao)低的(de)(de)情況以(yi)及相應(ying)指示(shi)儀表來進行(xing)(xing)(xing)報(bao)警提示(shi)等等功能。

真(zhen)空(kong)(kong)(kong)箱氦(hai)(hai)(hai)(hai)(hai)檢(jian)漏(lou)系(xi)統(tong)是一種用(yong)(yong)于檢(jian)測真(zhen)空(kong)(kong)(kong)容(rong)器(qi)(qi)內(nei)(nei)氦(hai)(hai)(hai)(hai)(hai)氣泄漏(lou)的(de)設備(bei)。它通過將(jiang)氦(hai)(hai)(hai)(hai)(hai)氣充入真(zhen)空(kong)(kong)(kong)容(rong)器(qi)(qi)內(nei)(nei)，然后抽出樣(yang)品(pin)中的(de)氦(hai)(hai)(hai)(hai)(hai)氣，根據氦(hai)(hai)(hai)(hai)(hai)氣的(de)濃度(du)(du)來判斷容(rong)器(qi)(qi)是否存(cun)在泄漏(lou)。一般情況下，氦(hai)(hai)(hai)(hai)(hai)氣濃度(du)(du)越低，說明容(rong)器(qi)(qi)的(de)泄漏(lou)率(lv)越低。該(gai)系(xi)統(tong)通常由(you)真(zhen)空(kong)(kong)(kong)箱、氦(hai)(hai)(hai)(hai)(hai)氣發生器(qi)(qi)、氦(hai)(hai)(hai)(hai)(hai)氣檢(jian)測器(qi)(qi)和(he)數據采集系(xi)統(tong)等組成(cheng)。其中，真(zhen)空(kong)(kong)(kong)箱用(yong)(yong)于抽取和(he)儲存(cun)氦(hai)(hai)(hai)(hai)(hai)氣，氦(hai)(hai)(hai)(hai)(hai)氣發生器(qi)(qi)用(yong)(yong)于產生高濃度(du)(du)的(de)氦(hai)(hai)(hai)(hai)(hai)氣，氦(hai)(hai)(hai)(hai)(hai)氣檢(jian)測器(qi)(qi)用(yong)(yong)于檢(jian)測氦(hai)(hai)(hai)(hai)(hai)氣的(de)濃度(du)(du)，而數據采集系(xi)統(tong)則用(yong)(yong)于采集和(he)記(ji)錄檢(jian)測數據。真(zhen)空(kong)(kong)(kong)箱氦(hai)(hai)(hai)(hai)(hai)檢(jian)漏(lou)系(xi)統(tong)廣泛應用(yong)(yong)于航空(kong)(kong)(kong)航天(tian)、電子、半導體、等領域(yu)，可以用(yong)(yong)于檢(jian)測容(rong)器(qi)(qi)內(nei)(nei)的(de)氦(hai)(hai)(hai)(hai)(hai)氣泄漏(lou)，保證(zheng)產品(pin)的(de)質量和(he)安全性。