輔助真(zhen)(zhen)空系(xi)統：對子漏(lou)氣(qi)速率和(he)放氣(qi)速率較大(da)或(huo)者(zhe)體積(ji)較大(da)的(de)(de)被(bei)檢(jian)件(jian)，若直接(jie)與檢(jian)漏(lou)儀(yi)(yi)相連，檢(jian)漏(lou)儀(yi)(yi)的(de)(de)真(zhen)(zhen)空度可能抽(chou)(chou)不(bu)上去，使檢(jian)漏(lou)儀(yi)(yi)無法工作。此(ci)種情況須加(jia)接(jie)輔助真(zhen)(zhen)空系(xi)統，提高對被(bei)檢(jian)件(jian)的(de)(de)抽(chou)(chou)速。比較簡單的(de)(de)輔助真(zhen)(zhen)空系(xi)統只(zhi)需(xu)一個機(ji)械泵(beng)和(he)兩個閥(fa)門，復雜的(de)(de)系(xi)統可由前級(ji)(ji)(ji)泵(beng)、次級(ji)(ji)(ji)泵(beng)、閥(fa)門、真(zhen)(zhen)空規及標準漏(lou)孔等組成。次級(ji)(ji)(ji)泵(beng)可用擴散系(xi)或(huo)羅茨(ci)泵(beng)，前級(ji)(ji)(ji)系(xi)用氣(qi)鎮式機(ji)械泵(beng)比較好(hao)。

氦質(zhi)譜(pu)(pu)檢(jian)(jian)(jian)(jian)漏(lou)(lou)(lou)儀(yi)(yi)檢(jian)(jian)(jian)(jian)漏(lou)(lou)(lou)原(yuan)理及方式(shi)：氦質(zhi)譜(pu)(pu)檢(jian)(jian)(jian)(jian)漏(lou)(lou)(lou)儀(yi)(yi)的(de)(de)檢(jian)(jian)(jian)(jian)漏(lou)(lou)(lou)方式(shi)，氦質(zhi)譜(pu)(pu)檢(jian)(jian)(jian)(jian)漏(lou)(lou)(lou)儀(yi)(yi)的(de)(de)檢(jian)(jian)(jian)(jian)漏(lou)(lou)(lou)方式(shi)通常有(you)(you)(you)兩種，一(yi)種為常規檢(jian)(jian)(jian)(jian)漏(lou)(lou)(lou)，另一(yi)種為逆(ni)(ni)擴(kuo)(kuo)(kuo)散檢(jian)(jian)(jian)(jian)漏(lou)(lou)(lou)。逆(ni)(ni)擴(kuo)(kuo)(kuo)散檢(jian)(jian)(jian)(jian)漏(lou)(lou)(lou)是把被檢(jian)(jian)(jian)(jian)件接(jie)在(zai)分子(zi)泵出氣口一(yi)端(duan)，漏(lou)(lou)(lou)入(ru)的(de)(de)氦氣由分子(zi)泵出氣口逆(ni)(ni)著泵的(de)(de)排氣方向進(jin)入(ru)安(an)裝在(zai)泵的(de)(de)進(jin)氣口端(duan)的(de)(de)質(zhi)譜(pu)(pu)管內(nei)而被檢(jian)(jian)(jian)(jian)測。這一(yi)檢(jian)(jian)(jian)(jian)漏(lou)(lou)(lou)方式(shi)是基于分子(zi)泵對不(bu)同(tong)質(zhi)量的(de)(de)氣體(ti)具有(you)(you)(you)不(bu)同(tong)壓縮(suo)比(bi)(氣體(ti)在(zai)分子(zi)泵出氣口壓強與進(jin)氣口壓強之(zhi)比(bi))即利用不(bu)同(tong)氣體(ti)的(de)(de)逆(ni)(ni)擴(kuo)(kuo)(kuo)散程度(du)不(bu)同(tong)程度(du)而設計的(de)(de)。逆(ni)(ni)擴(kuo)(kuo)(kuo)散原(yuan)理：逆(ni)(ni)擴(kuo)(kuo)(kuo)散方式(shi)檢(jian)(jian)(jian)(jian)漏(lou)(lou)(lou)允許被檢(jian)(jian)(jian)(jian)件內(nei)壓強較高，氦質(zhi)譜(pu)(pu)檢(jian)(jian)(jian)(jian)漏(lou)(lou)(lou)儀(yi)(yi)可達300Pa(一(yi)般常規檢(jian)(jian)(jian)(jian)漏(lou)(lou)(lou)儀(yi)(yi)為0.05Pa以下)，適合(he)檢(jian)(jian)(jian)(jian)大(da)型容器或有(you)(you)(you)大(da)漏(lou)(lou)(lou)的(de)(de)器件，徐州板，也適合(he)吸檢(jian)(jian)(jian)(jian)漏(lou)(lou)(lou)。逆(ni)(ni)擴(kuo)(kuo)(kuo)散方式(shi)還具有(you)(you)(you)質(zhi)譜(pu)(pu)管不(bu)易受污染，雙(shuang)極板，燈絲壽(shou)命長(chang)等優點。

差(cha)(cha)壓(ya)法氣(qi)密性(xing)檢(jian)(jian)(jian)測(ce)(ce)的(de)工(gong)作(zuo)循環包括(kuo)4個(ge)過(guo)(guo)(guo)程，雙極板價格，即充(chong)氣(qi)過(guo)(guo)(guo)程、平衡過(guo)(guo)(guo)程、檢(jian)(jian)(jian)測(ce)(ce)過(guo)(guo)(guo)程和排氣(qi)過(guo)(guo)(guo)程。(2)平衡過(guo)(guo)(guo)程：關閉充(chong)氣(qi)閥(fa)(fa)(fa)、測(ce)(ce)漏(lou)閥(fa)(fa)(fa)，截斷氣(qi)源與(yu)標準容器、被(bei)測(ce)(ce)工(gong)件的(de)通(tong)(tong)路(lu)，由于充(chong)氣(qi)及關閉閥(fa)(fa)(fa)的(de)動作(zuo)會引起容器內(nei)氣(qi)體(ti)壓(ya)力(li)的(de)脈動，導致標準容器與(yu)被(bei)測(ce)(ce)工(gong)件間(jian)的(de)差(cha)(cha)壓(ya)不(bu)穩(wen)定(ding)，呈現出(chu)無規則的(de)變(bian)化，必須延遲(chi)一(yi)(yi)段時間(jian)，待差(cha)(cha)壓(ya)值(zhi)(zhi)穩(wen)定(ding)后(hou)才能測(ce)(ce)量差(cha)(cha)壓(ya)變(bian)化。(3)檢(jian)(jian)(jian)測(ce)(ce)過(guo)(guo)(guo)程：檢(jian)(jian)(jian)測(ce)(ce)差(cha)(cha)壓(ya)傳(chuan)感器的(de)輸出(chu)，由于泄(xie)漏(lou)產(chan)生的(de)壓(ya)力(li)降在(zai)測(ce)(ce)試壓(ya)力(li)附近近似的(de)與(yu)時間(jian)成正比(bi)，因此可以測(ce)(ce)量出(chu)在(zai)一(yi)(yi)定(ding)時間(jian)內(nei)差(cha)(cha)壓(ya)的(de)變(bian)化值(zhi)(zhi)。(4)排氣(qi)過(guo)(guo)(guo)程：待測(ce)(ce)量完差(cha)(cha)壓(ya)的(de)變(bian)化值(zhi)(zhi)，標準容器、被(bei)測(ce)(ce)工(gong)件內(nei)的(de)剩余氣(qi)體(ti)通(tong)(tong)過(guo)(guo)(guo)氣(qi)閥(fa)(fa)(fa)排到大氣(qi)里，結束一(yi)(yi)個(ge)檢(jian)(jian)(jian)測(ce)(ce)過(guo)(guo)(guo)程。