石英撓(nao)性(xing)(xing)(xing)加速度(du)(du)(du)計的(de)(de)(de)結構(gou)主要由軛鐵、磁(ci)鋼(gang)(gang)、撓(nao)、力(li)矩(ju)(ju)(ju)線(xian)(xian)圈(quan)和(he)換能(neng)器等部分組成。? 軛鐵由溫(wen)度(du)(du)(du)系數低(di)、導磁(ci)性(xing)(xing)(xing)能(neng)好(hao)的(de)(de)(de)軟(ruan)磁(ci)材料制(zhi)成，磁(ci)鋼(gang)(gang)采用(yong)導磁(ci)性(xing)(xing)(xing)能(neng)良(liang)好(hao)的(de)(de)(de)AL-Ni-Co8永磁(ci)材料。撓(nao)通常由石英玻(bo)璃制(zhi)成，具有良(liang)好(hao)的(de)(de)(de)溫(wen)度(du)(du)(du)性(xing)(xing)(xing)能(neng)，通過超聲(sheng)加工成型(xing)。力(li)矩(ju)(ju)(ju)線(xian)(xian)圈(quan)和(he)換能(neng)器將機械運(yun)動(dong)(dong)轉換為電信號(hao)，再通過伺(si)服放(fang)大器轉換為電流(liu)信號(hao)，終產生(sheng)(sheng)反(fan)饋(kui)(kui)(kui)力(li)或反(fan)饋(kui)(kui)(kui)力(li)矩(ju)(ju)(ju)，與輸(shu)(shu)入加速度(du)(du)(du)引起的(de)(de)(de)慣性(xing)(xing)(xing)力(li)相平(ping)衡(heng)，直(zhi)到(dao)恢復(fu)到(dao)平(ping)衡(heng)位置。?石英撓(nao)性(xing)(xing)(xing)加速度(du)(du)(du)計的(de)(de)(de)工作(zuo)原理(li)基于慣性(xing)(xing)(xing)質量(liang)(liang)在外界加速度(du)(du)(du)作(zuo)用(yong)下的(de)(de)(de)相對(dui)位置變化。當(dang)有加速度(du)(du)(du)輸(shu)(shu)入時，由撓(nao)和(he)力(li)矩(ju)(ju)(ju)線(xian)(xian)圈(quan)組成的(de)(de)(de)敏感質量(liang)(liang)塊會發(fa)生(sheng)(sheng)偏(pian)移，導致差(cha)動(dong)(dong)電容極板(ban)距離(li)變化，進而引起差(cha)動(dong)(dong)電容量(liang)(liang)的(de)(de)(de)變化。伺(si)服放(fang)大器檢測到(dao)這(zhe)一(yi)變化并輸(shu)(shu)出相應的(de)(de)(de)電流(liu)，送至位于磁(ci)場內部的(de)(de)(de)線(xian)(xian)圈(quan)上，產生(sheng)(sheng)與輸(shu)(shu)入加速度(du)(du)(du)力(li)矩(ju)(ju)(ju)相平(ping)衡(heng)的(de)(de)(de)反(fan)饋(kui)(kui)(kui)力(li)矩(ju)(ju)(ju)，使(shi)慣性(xing)(xing)(xing)質量(liang)(liang)回到(dao)平(ping)衡(heng)位置。通過測量(liang)(liang)這(zhe)一(yi)電流(liu)信號(hao)，可以計算出輸(shu)(shu)入加速度(du)(du)(du)。

石英撓性加速度計具有結構簡單、體積小、精度和靈敏度高、可靠性高等特點。然而，其在高溫工作環境下的工作壽命和抗振動能力可能會受到影響。為了增強其可靠性和壽命，通常采用金絲鍵合的方式連接IC芯片到封裝引腳，雙軸石英撓性加速度計價格，并采用多芯片模塊厚膜混合集成電路工藝以適應高溫工作環境。

石英加(jia)速(su)度(du)傳(chuan)(chuan)(chuan)感(gan)(gan)器(qi)是一(yi)種(zhong)敏(min)感(gan)(gan)元件，能(neng)夠檢測到(dao)物體(ti)在三個方向上的(de)(de)加(jia)速(su)度(du)。它具有高(gao)靈敏(min)度(du)、良好的(de)(de)線性(xing)度(du)和(he)穩定性(xing)，適(shi)用(yong)(yong)于(yu)(yu)多種(zhong)環境條(tiao)件下(xia)的(de)(de)測量應(ying)用(yong)(yong)。該(gai)(gai)(gai)傳(chuan)(chuan)(chuan)感(gan)(gan)器(qi)的(de)(de)參數主要包括以(yi)(yi)下(xia)幾個方面：1.工(gong)作頻(pin)率：石英加(jia)速(su)度(du)傳(chuan)(chuan)(chuan)感(gan)(gan)器(qi)的(de)(de)工(gong)作頻(pin)率一(yi)般為(wei)幾十kHz到(dao)幾百kHz之(zhi)間，具體(ti)取決于(yu)(yu)其(qi)型號(hao)(hao)和(he)規格。2.加(jia)速(su)度(du)范圍：通常情況下(xia)，該(gai)(gai)(gai)傳(chuan)(chuan)(chuan)感(gan)(gan)器(qi)的(de)(de)加(jia)速(su)度(du)范圍可(ke)以(yi)(yi)達到(dao)±1g、±2g或±4g等(deng)不(bu)同(tong)級(ji)別。3.靈敏(min)度(du)：該(gai)(gai)(gai)傳(chuan)(chuan)(chuan)感(gan)(gan)器(qi)的(de)(de)靈敏(min)度(du)是指其(qi)輸(shu)出(chu)電壓與輸(shu)入加(jia)速(su)度(du)之(zhi)間的(de)(de)關系，通常以(yi)(yi)mV/g表示。4.響(xiang)應(ying)時(shi)間：該(gai)(gai)(gai)傳(chuan)(chuan)(chuan)感(gan)(gan)器(qi)響(xiang)應(ying)時(shi)間是指從接(jie)收(shou)到(dao)信(xin)號(hao)(hao)開始(shi)，到(dao)輸(shu)出(chu)穩定狀態的(de)(de)時(shi)間間隔，一(yi)般在幾毫秒到(dao)幾十毫秒之(zhi)間。5.溫度(du)范圍：該(gai)(gai)(gai)傳(chuan)(chuan)(chuan)感(gan)(gan)器(qi)可(ke)以(yi)(yi)在一(yi)定的(de)(de)溫度(du)范圍內正常工(gong)作，如-20℃~+85℃等(deng)。總之(zhi)，石英加(jia)速(su)度(du)傳(chuan)(chuan)(chuan)感(gan)(gan)器(qi)具有高(gao)精度(du)、低功(gong)耗、快速(su)響(xiang)應(ying)等(deng)特(te)點，被廣泛應(ying)用(yong)(yong)于(yu)(yu)工(gong)業(ye)自動化(hua)、航空航天、等(deng)領域(yu)。

加速(su)度傳感(gan)器(qi)(qi)的(de)(de)(de)功(gong)(gong)耗(hao)主要受到以(yi)下幾個因(yin)素的(de)(de)(de)影(ying)響：傳感(gan)器(qi)(qi)的(de)(de)(de)工作頻率(lv)、采(cai)樣率(lv)、靈敏度以(yi)及供電(dian)電(dian)壓(ya)等。其中，工作頻率(lv)和采(cai)樣率(lv)是影(ying)響傳感(gan)器(qi)(qi)功(gong)(gong)耗(hao)的(de)(de)(de)主要因(yin)素，因(yin)為它們直(zhi)接決定了傳感(gan)器(qi)(qi)的(de)(de)(de)數據處理速(su)度和所需(xu)的(de)(de)(de)電(dian)力。此外，靈敏度也會影(ying)響傳感(gan)器(qi)(qi)的(de)(de)(de)功(gong)(gong)耗(hao)，因(yin)為更高的(de)(de)(de)靈敏度通常需(xu)要更大的(de)(de)(de)電(dian)流(liu)來驅(qu)動傳感(gan)器(qi)(qi)。后，供電(dian)電(dian)壓(ya)也會影(ying)響傳感(gan)器(qi)(qi)的(de)(de)(de)功(gong)(gong)耗(hao)，因(yin)為在(zai)相同的(de)(de)(de)電(dian)流(liu)下，電(dian)壓(ya)越高，功(gong)(gong)耗(hao)越大。因(yin)此，在(zai)設計加速(su)度傳感(gan)器(qi)(qi)時，需(xu)要綜合考慮(lv)這些因(yin)素，以(yi)實現佳的(de)(de)(de)功(gong)(gong)耗(hao)性能。